[实用新型]玻璃基板的制造装置

说明书

本实用新型提供一种玻璃基板的制造装置，该玻璃基板的制造装置能够防止尘埃附着于玻璃基板并制造具有高表面品质的玻璃基板。一种玻璃基板(G)的制造装置(1)，其对在上游被加工的玻璃基板(G)进行清洗并干燥，其中，所述玻璃基板(G)的制造装置(1)具有：对玻璃基板(G)进行清洗的接触清洗部(2)；针对由接触清洗部(2)进行了清洗的玻璃基板进行漂洗工序的冲洗部(3)；以及对在冲洗部(3)中进行了漂洗的玻璃基板(G)进行干燥的干燥部(4)，在干燥部(4)设置用于喷出洁净空气的清洁空气导入单元(34)。

技术领域

本实用新型涉及玻璃基板的制造装置的技术。

背景技术

以往，在制造液晶面板(LCD)、等离子体显示板(PDP)、有机EL面板等的玻璃基板时，有时向玻璃基板的一面或两面贴附保护膜。在向玻璃基板的表面贴附保护膜时，若表面上附着有尘埃，则保护膜可能会剥离。因此，在向玻璃基板贴附保护膜的工序之前的工序中，进行清洗玻璃基板的表面的工序的玻璃基板的制造装置已被公知(例如参照专利文献1)。

专利文献1的玻璃基板的制造装置具备：清洗部，其一边向玻璃基板的表面供给清洗液一边进行清洗；冲洗部，其对在清洗部中进行了清洗的玻璃基板的表面进行漂洗；以及干燥部，其对在冲洗部中进行了漂洗的玻璃表面进行干燥。另外，在干燥部中，作为对玻璃表面进行干燥的干燥单元的一例，设置有气刀。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-212862号公报

在专利文献1中，在干燥部中使用气刀进行干燥时，有时因由气刀引起的气流及从下游工序的成为正压的无尘室输送来的气流而在干燥部内产生紊流，微少残留的尘埃再次附着于清洗及漂洗后的玻璃基板的表面。因此，作为要求高品质的玻璃基板，希望防止尘埃再附着的玻璃基板的制造装置。

实用新型内容

实用新型要解决的课题

本实用新型鉴于上述课题，提供能够防止尘埃附着于玻璃基板并制造具有高表面品质的玻璃基板的玻璃基板的制造装置。

用于解决课题的方案

本实用新型要解决的课题如上所述，以下说明用于解决该课题的方案。

即，本实用新型涉及一种玻璃基板的制造装置，其对在上游被加工的玻璃基板进行清洗并干燥，所述玻璃基板的制造装置的特征在于，具有：

接触清洗部，其对玻璃基板进行清洗；冲洗部，其针对由所述接触清洗部进行了清洗的玻璃基板进行漂洗工序；以及干燥部，其对在所述冲洗部中进行了漂洗的玻璃基板进行干燥，

在所述干燥部设置用于喷出洁净空气的清洁空气导入单元。

在本实用新型中，在所述接触清洗部、所述冲洗部及所述干燥部设置排气单元。

在本实用新型中，在所述干燥部设置气刀，

所述排气单元的排气口配置在所述气刀指向的一侧。

在本实用新型中，对所述玻璃基板进行搬运的搬运单元在与所述玻璃基板的搬运方向正交的宽度方向上倾斜，

在所述接触清洗部及所述冲洗部中，所述排气口配置在所述搬运单元的倾斜上侧的下方。

在本实用新型中，所述排气单元的排气口进一步相对于所述气刀配置在所述玻璃基板的搬运方向下游侧。

在本实用新型中，所述清洁空气导入单元配置在所述玻璃基板的搬运方向下游侧。

在本实用新型中，对于所述排气单元的排气量而言，所述冲洗部中的排气单元的排气量比所述接触清洗部中的排气单元的排气量多，且所述接触清洗部中的排气单元的排气量比所述干燥部中的排气单元的排气量多。