[实用新型]一种能精确控制氮气输出纯度和流量的制氮机

权利要求书

1.一种能精确控制氮气输出纯度和流量的制氮机，其特征在于：包括壳体(1)和集成在壳体(1)内部的气源系统、冷却系统、空气缓冲系统、气源处理系统、制氮系统、氮气储存系统、取样系统、输出系统，还包括控制整个制氮机运行的PLC控制系统；所述气源系统包括空气压缩机(2)和与空气压缩机(2)电性连接的变频器(3)，所述的变频器(3)连接并受控于PLC控制系统。

2.根据权利要求1所述的能精确控制氮气输出纯度和流量的制氮机，其特征在于：所述冷却系统包括散热器(4)和风扇(5)，所述的风扇(5)连接并受控于PLC控制系统。

3.根据权利要求1所述的能精确控制氮气输出纯度和流量的制氮机，其特征在于：所述空气缓冲系统包括与空气压缩机(2)管路连接的空气缓冲罐(6)和装配在空气缓冲罐(6)上的第一压力表(7)、压力变送器(8)、电子排水阀(9)、第一安全阀(10)，所述的压力变送器(8)与PLC控制系统电性连接，所述的第一安全阀(10)连接并受控于PLC控制系统。

4.根据权利要求1所述的能精确控制氮气输出纯度和流量的制氮机，其特征在于：所述气源处理系统包括三组过滤器(11)，各组过滤器(11)的底部分别装配有自动排水器。

5.根据权利要求1所述的能精确控制氮气输出纯度和流量的制氮机，其特征在于：所述氮气储存系统包括与制氮系统管路连接的氮气罐(12)和装配在氮气罐(12)上的第二压力表(13)、第二安全阀(14)。

6.根据权利要求5所述的能精确控制氮气输出纯度和流量的制氮机，其特征在于：所述取样系统包括通过管路与氮气罐(12)相连通的氮氧分析仪(15)和安装在氮气罐(12)与氮氧分析仪(15)之间的管路上的减压阀(16)和流量调节阀(17)，所述的氮氧分析仪(15)与PLC控制系统电性连接。

7.根据权利要求5所述的能精确控制氮气输出纯度和流量的制氮机，其特征在于：所述输出系统包括与氮气罐(12)相连通的氮气输出管和安装在氮气输出管上的电动流量调节阀(18)、数字流量计(19)、合格氮气输出电磁阀(20)、不合格氮气输出电磁阀(21)，所述的数字流量计(19)与PLC控制系统电性连接，所述的电动流量调节阀(18)、合格氮气输出电磁阀(20)和不合格氮气输出电磁阀(21)分别连接并受控于PLC控制系统。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的能精确控制氮气输出纯度和流量的制氮机，其特征在于：所述制氮系统包括第一吸附塔(22)和第二吸附塔(23)，所述的第一吸附塔(22)和第二吸附塔(23)并联设置，其中，两个吸附塔的进气管分别通过五位三通电磁阀(24)与气源处理系统的出气管连接，两个吸附塔的出气管之间连通有反吹管，所述的反吹管上安装有反吹电磁阀(25)；所述第一吸附塔(22)的中间部位装配有第一均压电磁阀(26)，所述第一均压电磁阀(26)的出气端通过管路与第二吸附塔(23)的进气管相连通；所述第二吸附塔(23)的中间部位装配有第二均压电磁阀(27)，所述第二均压电磁阀(27)的出气端通过管路与第一吸附塔(22)的进气管相连通；所述五位三通电磁阀(24)、反吹电磁阀(25)、第一均压电磁阀(26)和第二均压电磁阀(27)分别连接并受控于PLC控制系统。

9.根据权利要求8所述的能精确控制氮气输出纯度和流量的制氮机，其特征在于：所述第一吸附塔(22)上安装有第三压力表(28)，所述第二吸附塔(23)上安装有第四压力表(29)。

10.根据权利要求1-7任意一项所述的能精确控制氮气输出纯度和流量的制氮机，其特征在于：所述制氮系统包括与气源处理系统管路连接的制氮模组(30)和设置在气源处理系统与制氮模组(30)之间管路上的空气加热器(31)，所述的空气加热器(31)连接并受控于PLC控制系统。