[实用新型]一种探针台用探针卡固定机构、夹紧机构和调节机构

说明书

本实用新型公开了一种探针台用探针卡固定机构，包括框体、夹板、夹紧机构和调节机构；夹紧机构包括电机、丝杠、延伸板、导板、安装板、限位板、托板、齿板、固定板、转动杆、第一弹簧和压板；调节机构包括齿轮、转轴、手柄、棘轮、棘爪座、螺杆、螺母、棘爪和第二弹簧。本实用新型结构简单，通过夹板的移动方便对探针卡进行夹紧，并通过限位板的设计方便对圆形结构的探针卡限位，有利于探针卡的固定以及定位，两个夹板的同时移动方便对不同大小的探针卡进行固定；本实用新型通过托板的设计方便对探针卡进行支撑，并通过夹紧后托板和压板的同时移动方便探针卡与晶圆的接触，压板的移动也提高探针卡下压时的稳定性，避免探针卡发生移动。

技术领域

本实用新型涉及一种探针台用探针卡固定机构、夹紧机构和调节机构，属于探针卡应用技术领域。

背景技术

探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试，是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的，探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程，因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。

目前的探针卡是在芯片封装前进行测试，发现有不良品存在晶圆当中即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本，对于探针卡的固定机构来说，由于芯片进行测试时需要使用探针卡上的探针与晶圆接触，在进行探针卡的移动时不利于对探针卡进行固定，进行不同大小的探针卡固定时也增加了操作难度；在将探针卡压合在晶圆上时，也可能发生探针卡移动的问题，不利于对探针卡进行压合，也不利于探针卡的放置，造成操作的不便。因此，针对上述问题提出一种探针台用探针卡固定机构、夹紧机构和调节机构。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种探针台用探针卡固定机构、夹紧机构和调节机构。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种探针台用探针卡固定机构，包括位于框体内部的夹板、夹紧机构和调节机构；

所述夹紧机构包括电机和托板，所述框体侧壁与电机固定连接，所述电机输出端与丝杠固定连接，且丝杠与延伸板贯穿连接，所述框体内壁分别与导板以及安装板固定连接，所述夹板侧壁与限位板固定连接，所述夹板内部底端与托板贯穿连接，所述托板中部与固定板固定连接，且夹板内部与转动杆转动连接，所述转动杆通过第一弹簧与夹板内壁固定连接，且转动杆顶端内部与压板活动连接；

所述调节机构包括齿板和棘爪座，所述齿板与托板顶面固定连接，所述齿板与齿轮啮合连接，所述齿轮与转轴底端固定连接，且转轴顶部分别与手柄以及棘轮固定连接，所述棘爪座与夹板顶面滑动连接，所述棘爪与螺杆贯穿连接，所述螺杆端部与螺母螺纹连接，且棘爪座顶面通过第二弹簧与棘爪固定连接。

优选的，所述框体呈方形空心结构，所述框体内部与两个夹板横向滑动连接，所述夹板两侧的延伸板都与导板之间滑动连接，且导板底端设有用于安装升降机构的安装板。

优选的，所述夹板为空心壳体结构，所述夹板侧壁分别与两个限位板固定连接，每个限位板之间形成有用于探针卡放置的圆形通孔，且夹板底端和顶端分别与托板以及压板滑动连接。

优选的，所述转动杆中部与夹板内部转动连接，所述转动杆底端接触有固定板，所述转动杆顶部开设有呈U形结构的开口，且转动杆顶部的开口内部与压板端部的连接轴滑动连接。

优选的，所述棘爪座与夹板顶面滑动连接，所述棘爪座与螺杆螺纹连接，所述螺杆与夹板顶部贯穿并滑动连接，且螺杆顶部的螺母接触有棘爪座顶面。

优选的，所述所述棘爪座顶面与棘爪转动连接，所述棘爪与棘轮卡接，且棘轮中部的转轴与夹板转动连接。