[实用新型]3DMEMS探针卡用夹具、弹性供力结构和夹持结构

说明书

本实用新型公开了一种3DMEMS探针卡用夹具、弹性供力结构和夹持结构，所述夹具包括底板、弹性供力结构以及夹持结构，弹性供力结构和夹持结构均固定安装在底板上；弹性供力结构包括固定管、导向环、活动杆、弹簧以及拉杆；夹持结构包括固定U形板、翘边、加工开口、橡胶垫条、平板以及橡胶垫片。本实用新型结构简单，操作方便，应用于3DMEMS探针卡制作时的夹持，通过夹持结构可为探针卡pcb板提供夹持位置，对探针卡pcb板的三个边进行夹持，夹持效果较好，受力均匀，使探针卡pcb板的表面露在加工开口的底部，可进行加工操作；通过弹性供力结构可为探针卡pcb板提供压紧，通过弹簧拉伸后的弹力，为活动杆施力，进一步为平板施力，通过固定U形板的阻挡，实现夹紧。

技术领域

本实用新型3DMEMS探针卡用夹具、弹性供力结构和夹持结构属于探针卡应用技术领域。

背景技术

探针卡是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的；探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程；因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。

探针卡在进行制作过程中，需要进行固定，现有的夹具进行探针卡的夹持时，一般采用两侧夹持，进行夹紧，实现固定，夹持效果较差，受力不均，同时夹持操作可能较为复杂，操作不便。因此，针对上述问题提出一种3DMEMS探针卡用夹具、弹性供力结构和夹持结构。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种DMEMS探针卡用夹具、弹性供力结构和夹持结构。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的， DMEMS探针卡用夹具，包括底板、弹性供力结构以及夹持结构，所述弹性供力结构和夹持结构均固定安装在底板上；

所述弹性供力结构包括固定管以及拉杆，所述固定管的数目为三个，且固定管与底板垂直固接，所述固定管的顶端固定安装有导向环，所述拉杆上固定安装有三个等间距分布的活动杆，所述活动杆贯穿固定管和导向环，且活动杆表面套接有处于拉伸状态的弹簧，所述弹簧位于固定管内部，所述活动杆通过弹簧与导向环底部弹性连接；

所述夹持结构包括固定U形板以及平板，所述固定U形板的顶部边沿处设置有翘边，且翘边内侧形成加工开口，所述翘边底部粘合连接有橡胶垫条，所述平板底部与弹性供力结构顶部固接，且平板底部铺设有橡胶垫片，所述橡胶垫片与橡胶垫条之间夹持有探针卡pcb板，且探针卡pcb板位于加工开口底部。

优选的，所述底板的表面四角处均开有安装孔，且安装孔为圆孔形结构。

优选的，所述弹簧的顶端与导向环底部固接，且弹簧的底端与活动杆表面固接。

优选的，所述橡胶垫条为U形结构，且橡胶垫条的厚度与橡胶垫片的厚度相同。

优选的，所述拉杆与活动杆垂直设置，且拉杆位于底板的底部。

优选的，所述固定管的内径大于导向环的内径，且导向环与活动杆配合连接。

DMEMS探针卡用夹具用弹性供力结构，包括固定管以及拉杆，所述固定管的数目为三个，且固定管与底板垂直固接，所述固定管的顶端固定安装有导向环，所述拉杆上固定安装有三个等间距分布的活动杆，所述活动杆贯穿固定管和导向环，且活动杆表面套接有处于拉伸状态的弹簧，所述弹簧位于固定管内部，所述活动杆通过弹簧与导向环底部弹性连接。

DMEMS探针卡用夹具用夹持结构，包括固定U形板以及平板，所述固定U形板的顶部边沿处设置有翘边，且翘边内侧形成加工开口，所述翘边底部粘合连接有橡胶垫条，所述平板底部与弹性供力结构顶部固接，且平板底部铺设有橡胶垫片，所述橡胶垫片与橡胶垫条之间夹持有探针卡pcb板，且探针卡pcb板位于加工开口底部。

本实用新型的有益效果是：