[实用新型]一种高纯三氟化氮气体的充装装置

权利要求书

1.一种高纯三氟化氮气体的充装装置，其特征在于：所述装置包括通过管路依次连接的NF₃气体暂存装置（1）、低压过滤器（2）、隔膜压缩机（3）、高压过滤器（4）和充装汇流排（5），充装汇流排（5）的出口与待充装压力容器（6），NF₃气体暂存装置（1）与低压过滤器（2）的连接管路、低压过滤器（2）与隔膜压缩机（3）的连接管路、隔膜压缩机（3）与高压过滤器（4）的连接管路、高压过滤器（4）与充装汇流排（5）之间均设置有阀门，所述阀门用于控制管路的开闭。

2.如权利要求1所述的一种高纯三氟化氮气体的充装装置，其特征在于：所述NF₃气体暂存装置（1）的容积为5~20m³。

3.如权利要求1所述的一种高纯三氟化氮气体的充装装置，其特征在于：所述低压过滤器（2）材质为316L不锈钢。

4.如权利要求1所述的一种高纯三氟化氮气体的充装装置，其特征在于：所述隔膜压缩机（3）的排气量为80~180m³/h。

5.如权利要求1所述的一种高纯三氟化氮气体的充装装置，其特征在于：所述隔膜压缩机（3）中的润滑油为氟油。

6.如权利要求1所述的一种高纯三氟化氮气体的充装装置，其特征在于：所述高压过滤器（4）材质为316L不锈钢。

7.如权利要求1所述的一种高纯三氟化氮气体的充装装置，其特征在于：所述管路和充装汇流排的管路均为EP管。