[实用新型]一种晶圆夹具

说明书

本实用新型公开了一种晶圆夹具，属于芯片加工技术领域，包括主臂以及与主臂转动连接的侧臂，所述侧臂连接有长度能够调节的伸缩臂，所述伸缩臂的末端设有吸盘，所述主臂的底部设有限位槽。本实用新型操作方便，夹持牢固性高，晶圆不易滑落摔碎。

技术领域

本实用新型属于芯片加工技术领域，具体涉及一种晶圆夹具。

背景技术

在芯片加工领域中，原始材料晶圆的加工涉及多道不同的工序，需要经历数次不同状态下的夹取和放置。在加工过程中，简易通用的晶圆夹具为平口镊子，夹取晶圆过程中需要操作者对夹具持续保持一定的压力，这就增加了晶圆移送过程中晶圆滑落摔碎的风险系数。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种晶圆夹具，操作方便，夹持牢固性高，晶圆不易滑落摔碎。

本实用新型提供了如下的技术方案：

一种晶圆夹具，包括主臂以及与主臂转动连接的侧臂，所述侧臂连接有长度能够调节的伸缩臂，所述伸缩臂的末端设有吸盘，所述主臂的底部设有限位槽。

优选的，所述主臂内部设有通气腔，所述主臂顶部安装有与所述通气腔相通的抽气装置，所述抽气装置上设有开关，所述主臂靠近侧臂的位置设有与所述通气腔相通的主导气管；所述伸缩臂上设有侧导气管，所述主导气管和侧导气管通过螺旋状的通气管相连，所述侧导气管与所述吸盘相连通。

优选的，所述限位槽为弧形，且弧度大于π/3。

优选的，所述限位槽的槽内壁设有一层保护垫。

优选的，所述主臂上固定设有支撑轴，所述侧臂端部固接有齿环，所述齿环套于所述支撑轴外部且能够相对支撑轴转动。

优选的，所述齿环的外圈设有齿槽，所述主臂上设有支撑块，所述支撑块上安装有能够与所述齿槽相卡合的第一弹性组件。

优选的，所述伸缩臂相对所述吸盘的一侧设有滑块，所述侧臂设有容纳所述滑块滑动的滑槽，所述滑槽壁上设有若干卡槽，所述滑块设有能够与所述卡槽相卡合的第二弹性组件。

优选的，所述第二弹性组件与第一弹性组件的结构相同，均包括相连的弹簧和卡凸，所述滑块和支撑块内均设有相连通的弹簧槽和卡凸槽，所述弹簧槽用于安装弹簧，所述卡凸槽能够容纳所述卡凸。

优选的，所述卡凸的外表面为圆弧面。

优选的，所述侧臂的数量为两个，所述侧臂与主臂的夹角为15-120°。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：夹取圆晶时，通过限位槽翘起和卡住圆晶的一侧，同时以吸盘吸附在圆晶表面，能够牢固地夹持住圆晶，稳定性高，晶圆不易滑落摔碎，且操作方便；通过结合抽气装置控制吸盘等可实现机械化作业。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是通气管的结构示意图；

图3是抽气装置形成负压的原理示意图；

图4是侧臂与伸缩臂的结构示意图；

图5是侧臂与主臂的连接结构示意图；

图6是侧臂与伸缩臂的连接结构示意图；

图7是第一弹性组件的结构示意图；

图中标记为：1、主臂；2、开关；3、抽气装置；4、主导气管；5、限位槽；6、侧臂；7、伸缩臂；8、吸盘；9、侧导气管；10、保护垫；11、通气管；12、滑槽；13、滑块；14、齿环；15、卡槽；16、第二弹性组件；17、支撑块；18、第一弹性组件；19、支撑轴；20、弹簧；21、卡凸；22、弹簧槽；23、卡凸槽；24、通气腔；25、齿槽。