[实用新型]一种晶圆检视治具

说明书

本实用新型公开了一种晶圆检视治具，包括载片盘和扩张承载装置；所述载片盘用于承载晶圆，所述扩张承载装置包括伸缩机构和承载机构，所述伸缩机构的一端可移动连接于所述载片盘，所述伸缩机构的另一端固定连接于所述承载机构，所述承载机构的顶端高于所述载片盘，所述扩张承载装置用于承载扩张后的晶圆。本实用新型具有以下优点：可移动的扩张承载装置向外扩张后可以承载扩张的晶圆，方便检视经过蓝膜扩张的晶粒，同时在检视蓝膜背面上的晶圆时，不会碰到晶圆的正面晶粒，亦实现了晶圆的非接触承载。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种晶圆检视治具。

背景技术

在晶圆生成过程中，除了前段制程需要使用显微镜目检晶圆正面状况，但在后段制程也需要目检背面状况。目前所使用的显微镜载片盘局限于检视 150mm和159mm的晶圆，现有的晶圆检视治具无法满足晶圆扩张后的目检需求，以及晶圆的非接触式承载。

实用新型内容

为此，需要提供一种晶圆检视治具，解决晶圆检视治具无法满足晶圆扩张后的目检需求。

为实现上述目的，发明人提供了一种晶圆检视治具，包括载片盘和扩张承载装置；所述载片盘用于承载晶圆，所述扩张承载装置包括伸缩机构和承载机构，所述伸缩机构的一端可移动连接于所述载片盘，所述伸缩机构的另一端固定连接于所述承载机构，所述承载机构的顶端高于所述载片盘，所述扩张承载装置用于承载扩张后的晶圆。

进一步地，所述伸缩机构包括伸缩杆，所述载片盘上设置有容纳所述伸缩杆的凹槽，所述伸缩杆可伸缩连接于所述载片盘的凹槽内。

进一步地，所述承载机构包括伸缩辅助环，所述伸缩辅助环为弧形，所述伸缩辅助环靠近所述载片盘的一侧为阶梯状。

进一步地，所述扩张承载装置为多个，所述扩张承载装置均匀分布在所述载片盘的等分线上。

进一步地，所述扩张承载装置还包括扩张环，所述扩张环放置在所述伸缩杆或所述伸缩辅助环上，所述扩张环用于扩张晶圆。

进一步地，所述载片盘上设置有辅助圆环，所述辅助圆环槽呈现阶梯状，所述辅助圆环上具有多个辅助圆环槽，所述辅助圆环槽用于承载晶圆。

进一步地，所述辅助圆环槽的数量为2个，分别为内辅助圆环槽和外辅助圆环槽，所述外辅助圆环槽的宽度大于所述内辅助圆环槽的宽度。

进一步地，所述载片盘的表面和侧壁上具有吸笔槽。

进一步地，所述载片盘上设置有空心轴，所述空心轴以中心为轴转动，所述空心轴用于外接显微镜的凸轴。

区别于现有技术，上述技术方案在晶圆检视治上设置可移动的扩张承载装置，可移动的扩张承载装置可以承载扩张后的晶圆，方便检视经过蓝膜扩张的晶粒，同时在检视蓝膜背面上的晶圆时，不会碰到晶圆的正面晶粒，亦实现了晶圆的非接触承载。

附图说明

图1为本实施例所述晶圆检视治具的结构俯视图；

图2为本实施例所述晶圆检视治具的结构剖视图；

图3为本实施例检视蓝膜正面上晶圆的晶粒的结构剖视图；

图4为本实施例检视蓝膜背面上晶圆的晶粒的结构剖视图；

图5为本实施例检视内辅助圆环上晶圆的结构剖视图；

图6为本实施例检视外辅助圆环上晶圆的结构剖视图。

附图标记说明：

1、载片盘；

2、扩张承载装置；

21、伸缩辅助环；

22、伸缩杆；