[实用新型]一种晶圆UV擦除系统

说明书

本实用新型提供了一种晶圆UV擦除系统，包括：UV机、控制单元、警报单元和主机；所述UV机包括测量单元、UV灯组和用于承载晶圆的托盘，测量单元用于检测UV灯组的UV强度值；控制单元连接于UV机，并用于控制UV灯组的启动和关闭；主机连接于控制单元、警报单元和UV机，并用于在测量单元检测到的UV强度值低于预设值时，形成控制指令传输至警报单元和控制单元。本实用新型能对UV灯的UV强度进行实时监控，在UV强度出现异常时自动停止UV擦除作业，并形成警示信号，提醒工作人员处理异常情况；同时将检测到的UV强度值存储于数据存储单元中，使工作人员可以根据存储于数据存储单元中的UV强度值，追踪晶圆擦除异常是否和UV灯的UV强度异常有关。

技术领域

本实用新型属于晶圆UV擦除技术领域，具体涉及一种晶圆UV擦除系统。

背景技术

集成电路中集成的存储器可以分为挥发性和非挥发性存储器，后者在系统失电时仍能保留信息不丢失。含有非挥发性存储器(EPROM)模块的晶圆产品完成制造工序后，会经过晶圆级别拣选(CP)测试验证各功能模块工作是否正常。在第一次CP测试时，需先向EPROM内写入信息，再经过特定时间的烘烤处理后，进行第二次CP测试，回读之前写入的信息是否完整，以检验信息的逃逸水平。完成上述测试后需要用UV擦除设备对晶圆进行UV照射，以擦除测试过程中写入的信息。

在UV擦除设备的使用过程中，存在UV强度衰减的情况，这将导致在CP测试时写入晶圆的信息无法被有效擦除。而现有的UV擦除设备不具备UV强度监控功能，这将可能导致未被UV擦除干净的晶圆产品流至客户手中，从而引起客诉。

因此，如何避免上述技术问题的发生，是一个急需解决的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种具有UV强度监控功能且操作简单的晶圆UV擦除系统，以解决现有技术中的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供的技术方案如下：

一种晶圆UV擦除系统，包括：UV机、控制单元、警报单元和主机；

所述UV机包括测量单元、UV灯组和用于承载晶圆的托盘，所述测量单元用于检测所述UV灯组的UV强度值；

所述控制单元连接于所述UV机，并用于控制所述UV灯组的启动和关闭；

所述主机连接于所述控制单元、警报单元和UV机，并用于在所述测量单元检测到的UV强度值低于预设值时，形成控制指令传输至所述警报单元和控制单元。

进一步地，所述测量单元包括UV传感器，所述UV传感器和控制单元通信连接。

进一步地，所述UV传感器用于感测所述UV灯组的UV强度并形成检测信号，所述控制单元用于将所述检测信号传输至所述主机，所述检测信号经所述主机处理后得到所述UV灯组的UV强度值。

进一步地，所述UV传感器设于所述托盘上，所述托盘上还设有用于承载晶圆的承盘。

进一步地，所述晶圆UV擦除系统还包括信息读取单元，所述信息读取单元与所述主机通信连接，并用于读取生产信息。

进一步地，所述晶圆UV擦除系统还包括数据存储单元，所述数据存储单元与所述主机通信连接，并可用于存储经所述主机处理得到的UV强度值。

进一步地，所述控制单元包括流控单元，所述流控单元包括启动开关、第一微动开关、第二微动开关、电磁继电器、时间继电器和蜂鸣器。

进一步地，所述电磁继电器包括第一线圈、第一常开触点、第二常开触点和第一常闭触点；所述时间继电器包括第二线圈和第三常开触点。