[实用新型]基板切割装置有效

专利信息
申请号: 201922067510.1 申请日: 2019-11-26
公开(公告)号: CN213012577U 公开(公告)日: 2021-04-20
发明(设计)人: 李峻硕 申请(专利权)人: 塔工程有限公司
主分类号: C03B33/023 分类号: C03B33/023
代理公司: 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 代理人: 许伟群;周晓雨
地址: 韩国庆*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 切割 装置
【权利要求书】:

1.一种基板切割装置,包括:

第一工作台,支承基板;

第二工作台,位于所述第一工作台的下游,并支承所述基板;

划线单元,布置于所述第一工作台与所述第二工作台之间,并构成为在所述基板形成划线;以及

基板对齐单元,

其特征在于,

所述基板对齐单元对齐搭载于所述第二工作台的基板。

2.根据权利要求1所述的基板切割装置,其特征在于,

所述基板对齐单元包括多个基板对齐组件,多个所述基板对齐组件构成为对搭载于所述第二工作台的所述基板的侧面加压。

3.根据权利要求2所述的基板切割装置,其特征在于,

所述基板对齐组件包括:

加压部件,以能够沿水平方向移动的方式布置,并构成为对所述基板的侧面加压;

水平驱动器,构成为使所述加压部件沿水平方向移动;以及

垂直驱动器,构成为使所述加压部件沿垂直方向移动。

4.根据权利要求3所述的基板切割装置,其特征在于,

所述加压部件包括:

固定部,固定于所述水平驱动器或所述垂直驱动器的动力传递部件;

连接部,连接于所述固定部,并沿垂直方向延伸;以及

加压部,连接于所述连接部,并构成为与所述基板的侧面接触。

5.根据权利要求1所述的基板切割装置,其特征在于,

所述第二工作台包括平板,所述平板构成为吸附所述基板或使所述基板上浮。

6.根据权利要求1所述的基板切割装置,其特征在于,

在所述第二工作台具备基板上浮组件,所述基板上浮组件构成为使所述基板上浮。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的基板切割装置,其特征在于,

所述基板对齐单元以能够与所述第二工作台一体移动的方式设置,

所述基板在搭载于所述第二工作台的状态下通过所述第二工作台的移动而移动的同时通过所述基板对齐单元对齐。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的基板切割装置,其特征在于,

所述基板切割装置还包括驱动装置,所述驱动装置与所述第二工作台连接,并构成为使所述第二工作台向靠近或远离所述第一工作台的方向移动,

所述基板对齐单元与所述驱动装置连接,并通过所述驱动装置与所述第二工作台一起移动。

9.根据权利要求8所述的基板切割装置,其特征在于,

所述驱动装置包括:

第一驱动装置,与所述第二工作台连接,并构成为使所述第二工作台移动;以及

第二驱动装置,支承所述基板对齐单元,并与所述第一驱动装置连接,并构成为使所述第二工作台和所述基板对齐单元一起移动。

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