[实用新型]一种基于干涉方式的激光波长测量装置

说明书

本实用新型涉及一种基于干涉方式的激光波长测量装置，包括：待测激光源，用于发射待测激光束；分光镜，用于接收待测激光束，并将待测激光束透射至楔形反光镜，以及反射至透镜；楔形反光镜，用于将分光镜透射的待测激光束反射至透镜；透镜，用于接收分光镜和楔形反光镜反射的待测激光束，并将待测激光束透射至光电探测器；光电探测器，用于接收透镜透射的待测激光束；处理器，与光电探测器电连接，用于检测光电探测器上产生的干涉现象。本实用新型中测量装置所使用的光学器件简单，无需标准波长激光源参与测量，大大降低了测量装置的复杂度，并且也提高了装置对待测激光波长的测量精度。

技术领域

本实用新型涉及激光波长测量技术领域，特别涉及一种基于干涉方式的激光波长测量装置。

背景技术

激光波长的精确测量对于光学精密测量领域至关重要，以激光干涉仪为例，其测量精度与激光波长的精度直接相关，如何提高激光波长的测量精度，降低激光波长测量装置的复杂度与成本，成了相关领域的重要研究内容。

实用新型内容

本实用新型的目的在于改善现有技术中所存在的不足，提供一种基于干涉方式的激光波长测量装置。

为了实现上述实用新型目的，本实用新型实施例提供了以下技术方案：

一种基于干涉方式的激光波长测量装置，包括：

待测激光源，用于发射待测激光束；

分光镜，用于接收待测激光束，并将待测激光束透射至楔形反光镜，以及反射至透镜；

楔形反光镜，用于将分光镜透射的待测激光束反射至透镜；

透镜，用于接收分光镜和楔形反光镜反射的待测激光束，并将待测激光束透射至光电探测器；

光电探测器，用于接收透镜透射的待测激光束；

处理器，与光电探测器电连接，用于检测光电探测器上产生的干涉现象。

更进一步地，为了更好的实现本实用新型，所述楔形反光镜连接有精密位移装置，用于带动楔形反光镜在其水平方向上移动。

更进一步地，为了更好的实现本实用新型，所述精密位移装置为无导轨的压电陶瓷电机。

更进一步地，为了更好的实现本实用新型，所述楔形反光镜包括反光面，所述分光镜与楔形反光镜的反光面平行设置。

更进一步地，为了更好的实现本实用新型，所述透镜为凸透镜。

更进一步地，为了更好的实现本实用新型，所述光电探测器设置于凸透镜的焦点处。

更进一步地，为了更好的实现本实用新型，还包括壳体，所述基于干涉方式的激光波长测量装置设置于壳体内，且待测激光源、分光镜、透镜、光电探测器、精密位移装置分别相对于壳体固定设置。

一种基于干涉方式的激光波长测量方法，包括以下步骤：

步骤S1：将待测激光源、分光镜、透镜、光电探测器以及精密位移装置固定设置在壳体内；

步骤S2：开启待测激光源，移动楔形反光镜的位置，使得楔形反光镜能接收到待测激光束；

步骤S3：控制精密位移装置带动楔形反光镜在水平方向上移动，使得光电探测器上产生相长干涉/相消干涉现象，处理器记录楔形反光镜的位移量X1；

步骤S4：继续控制精密位移装置带动楔形反光镜在水平方向上移动，直到光电探测器上产生下一个相长干涉/相消干涉现象，处理器记录楔形反光镜的位移量X2；

步骤S5：处理器根据楔形反光镜两次水平移动的位移量以及楔形反光镜的反光面与水平方向上的角度、入射至反光面的待测激光束与反光面的角度，计算出待测激光束的波长。