[实用新型]一种针卡运输装置及探针台有效
| 申请号: | 201922062815.3 | 申请日: | 2019-11-26 |
| 公开(公告)号: | CN211374830U | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
| 发明(设计)人: | 韦日文;雷迪 | 申请(专利权)人: | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 |
| 主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 运输 装置 探针 | ||
本实用新型公开了一种针卡运输装置及探针台。一种针卡搬运装置,翻转部转动连接于第一连接部,使翻转部能够转动到第一平面;针卡连接部平面运动连接于翻转部,使针卡连接部能够相对于翻转部在第一平面中运动。一种包括所述针卡搬运装置的探针台。能够将针卡或针卡连接板搬运到针卡安装板对应的安装位置,相对于采用手工搬运针卡或针卡连接板使用安全方便。
技术领域
本实用新型涉及一种针卡运输装置及探针台。
背景技术
探针台中的针卡使用一段时间后需要更换,需要将针卡运输到载物台与针卡安装板之间用于更换;为了提升针卡更换的安全性需要使用针卡搬运装置将针卡搬运至针卡安装板对应的位置。
实用新型内容
为了满足将针卡搬运到针卡安装板用于安装的要求,本实用新型提出一种针卡运输装置及探针台。
本实用新型的技术方案为:一种针卡搬运装置,
翻转部转动连接于第一连接部,使翻转部能够转动到第一平面;针卡连接部平面运动连接于翻转部,使针卡连接部能够相对于翻转部在第一平面中运动。
进一步的,所述第一连接部沿垂直于第一平面的方向直线运动连接于基部。
进一步的,所述翻转部枢接于第一连接部,转动控制部连接于翻转部和第一连接部之间,所述转动控制部用于驱动翻转部相对于第一连接部转动并位于第一平面。
进一步的,所述转动控制部为直线伸缩气缸。
进一步的,所述针卡搬运装置还包括安全保护装置;
所述安全保护装置包括支撑部、抵挡块和安全气缸;所述支撑部一端枢接于翻转部,所述支撑部远离翻转部的一端通过滑槽连接于第一连接部;所述抵挡块连接于安全气缸,所述安全气缸安装于第一连接部且使 抵挡块位于滑槽,通过所述安全气缸控制抵挡块离开所述滑槽,所述支撑部才能通过抵挡块所在滑槽的位置。
进一步的,所述平面运动连接包括直线运动和/或旋转运动。
进一步的,所述针卡连接部通过直线导轨连接于翻转部。
进一步的,第一连接部设置有弹性挡块,所述翻转部能够沿转动方向止抵于所述弹性挡块。
进一步的,所述第一连接部沿竖直方向连接于基部。
一种探针台,所述探针台包括上述任意一项所述的针卡搬运装置。
本实用新型的有益效果在于:能够将针卡或针卡连接板搬运到针卡安装板对应的安装位置,相对于采用手工搬运针卡或针卡连接板使用安全方便。
附图说明
图1为探针台针卡安装板和载物台位置示意图;
图2为本实用新型针卡搬运装置处于折叠状态示意图;
图3为本实用新型针卡搬运装置中翻转部相对于第一连接部翻转示意图;
图4为本实用新型针卡搬运装置中针卡连接部在第一平面运动示意图;
图5为本实用新型针卡搬运装置中将针卡连接板沿竖直方向靠近针卡安装板示意图;
图6为安装有针卡搬运装置的探针台结构示意图。
具体实施方式
为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案,下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。
如图1、图2、图3、图4、图5和图6所示,一种针卡搬运装置100,用于将针卡连接板搬运到探针台200上针卡安装板300,为了减小对针卡的损坏,针卡需要固定在针卡连接板101上,通过对针卡连接板101的更换实现对针卡的更换;
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