[实用新型]一种带有等离子放电检测器的气相色谱装置

权利要求书

1.一种带有等离子放电检测器的气相色谱装置，其特征在于，包括：正吹预分离系统、分离与选择系统以及等离子检测系统；

所述正吹预分离系统与所述分离与选择系统相连通；

所述分离与选择系统与所述等离子检测系统相连通；所述正吹预分离系统用于获取六氟化硫SF₆气体；所述分离与选择系统用于分离所述SF6气体并选择检测分离后的SF6气体中的杂质依次通过等离子检测路；所述等离子检测系统用于利用不同的偏振光路检测路对所述分离后的SF₆气体进行检测。

2.根据权利要求1所述的带有等离子放电检测器的气相色谱装置，其特征在于，所述正吹预分离系统具体包括：定量环、十通阀、第一色谱柱以及第二色谱柱；基于所述十通阀的阀门状态，确定所述定量环、所述第一色谱柱以及所述第二色谱柱与所述十通阀的号位的连通方式；

所述分离与选择系统具体包括第三色谱柱、第一六通阀、第二六通阀、第一阻尼阀、第二阻尼阀以及第三阻尼阀；

基于所述十通阀的阀门状态，确定所述第三色谱柱、所述第一阻尼阀、所述第二阻尼阀以及第三阻尼阀与所述第一六通阀的号位的连通方式；确定所述第三色谱柱、所述第一阻尼阀、所述第二阻尼阀以及第三阻尼阀与所述第二六通阀的号位的连通方式；以及确定所述第一六通阀的号位与所述第二六通阀的号位的连通方式；

所述等离子检测系统具体包括三通道等离子放电检测器；基于所述十通阀的阀门状态，确定所述三通道等离子放电检测器与所述第二六通阀的号位的连通方式。

3.根据权利要求2所述的带有等离子放电检测器的气相色谱装置，其特征在于，当所述十通阀的阀门状态为取样状态时，所述SF₆气体由所述十通阀的1号位进入，由所述十通阀的10号位输出，再经过所述定量环，并依次通过所述十通阀的3号位和2号位放空；载气由所述十通阀的8号位进入，由所述十通阀的9号位输出，经过所述第一色谱柱，进入所述十通阀的6号位，由所述十通阀的7号位输出，进入所述第一六通阀的6号位，由所述第一六通阀的5号位输出，经过所述第三色谱柱，进入所述第二六通阀的5号位，由所述第二六通阀的6号位输出至所述三通道等离子放电检测器。

4.根据权利要求2所述的带有等离子放电检测器的气相色谱装置，其特征在于，当所述十通阀的阀门状态为进样状态时，载气带动所述SF₆气体由所述十通阀的4号位进入，所述十通阀的3号位输出，经过所述定量环，进入所述十通阀的10号位，由所述十通阀的9号位输出，经过所述第一色谱柱，进入所述十通阀的6号位，由所述十通阀的5号位输出，经过所述第三色谱柱，进入所述第二六通阀的5号位，由所述第二六通阀的6号位输出至所述三通道等离子放电检测器。

5.根据权利要求2所述的带有等离子放电检测器的气相色谱装置，其特征在于，当所述十通阀的阀门状态为进样状态时，所述第三色谱柱中的SF₆气体进入所述第二六通阀中的5号位，由所述第二六通阀的4号位输出，由所述第三阻尼阀放空。

6.根据权利要求2所述的带有等离子放电检测器的气相色谱装置，其特征在于，所述偏振光路检测路具体包括：780nm偏振光路检测路、337nm偏振光路检测路以及228nm偏振光路检测路；所述780nm偏振光路检测路用于检测所述SF₆气体中的氧气O₂、甲烷CH₄以及二氧化硫SO₂；所述337nm偏振光路检测路用于检测所述SF₆气体中的氮气N₂；所述228nm偏振光路检测路用于检测所述SF₆气体中的一氧化碳CO、四氟化碳CF₄、二氧化碳CO₂、六氟乙烷C₂F₆、全氟丙烷C₃F₈以及二硫化碳CS₂。