[实用新型]一种光栅周期的测量装置有效

专利信息
申请号: 201922059578.5 申请日: 2019-11-25
公开(公告)号: CN212180228U 公开(公告)日: 2020-12-18
发明(设计)人: 尹志军;张虞;吴冰;许志城 申请(专利权)人: 南京南智先进光电集成技术研究院有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 代理人: 逯长明;许伟群
地址: 210000 江苏省南京市江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 光栅 周期 测量 装置
【权利要求书】:

1.一种光栅周期的测量装置,其特征在于,所述装置(100)包括底座(101)和位于所述底座(101)上的光源(102);所述装置(100)还包括级联光栅(103)、安装座(104)、观测窗口(105)和摄像头(106);

所述级联光栅(103)安装于所述光源(102)上方,所述光源(102)发出的光线从所述级联光栅(103)的底面射入,并从所述级联光栅(103)的顶面射出;所述级联光栅(103)是由多个扇形光栅进行级联后组成的;

所述安装座(104)位于所述级联光栅(103)中相对的两侧边上,用于安装待测光栅(107);所述待测光栅(107)安装后位于所述级联光栅(103)上方,所述光源(102)发出的光线从所述级联光栅(103)的顶面射出后,再从所述待测光栅(107)的底面射入,并从所述待测光栅(107)的顶面射出;

所述观测窗口(105)安装于所述待测光栅(107)的上方,用于观测光线透过所述级联光栅(103)和所述待测光栅(107)后形成的干涉图案;

所述摄像头(106)安装于所述待测光栅(107)的上方,靠近所述观测窗口(105)且与所述观测窗口(105)位于同一高度,用于拍摄所述干涉图案,以便实验人员根据拍摄到的干涉图案确定所述待测光栅(107)的周期。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述干涉图案为莫尔条纹;

所述级联光栅(103)上设置有刻度值,所述刻度值是表示莫尔条纹的中心对应的数值。

3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述待测光栅(107)为待测的位相光栅时,所述装置(100)还包括第一偏光片(108)和第二偏光片(109);

所述第一偏光片(108)位于所述级联光栅(103)下方,所述光源(102)发出的光线从所述第一偏光片(108)的底面射入,并从所述第一偏光片(108)的顶面射出后射入所述级联光栅(103);

所述第二偏光片(109)位于所述待测光栅(107)下方,所述光源(102)发出的光线从所述级联光栅(103)的顶面射出后,从所述第二偏光片(109)的底面射入,并从所述第二偏光片(109)的顶面射出,再从所述待测光栅(107)的底面射入,并从所述待测光栅(107)的顶面射出。

4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述装置(100)还包括第一立柱(110)、第二立柱(111)和横梁(112),所述第一立柱(110)和所述第二立柱(111)的高度均高于所述待测光栅(107)的顶面所在的位置;

所述第一立柱(110)的一端与所述底座(101)的第一侧面固定连接,另一端与所述横梁(112)的一端连接;

所述第二立柱(111)的一端与所述底座(101)的与所述第一侧面相对的第二侧面固定连接,另一端与所述横梁(112)的另一端连接。

5.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述观测窗口(105)和所述摄像头(106)分别安装于所述横梁(112)上。

6.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述装置(100)还包括滑块(113);

所述滑块(113)嵌套在所述横梁(112)上,沿所述横梁(112)的长度方向移动;

所述观测窗口(105)与所述滑块(113)连接,通过所述滑块(113)安装于所述横梁(112)上,且在所述滑块(113)的带动下沿所述横梁(112)的长度方向移动;

所述摄像头(106)与所述滑块(113)连接,通过所述滑块(113)安装于所述横梁(112)上,且在所述滑块(113)的带动下沿所述横梁(112)的长度方向移动。

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