[实用新型]光波导元件

权利要求书

1.一种光波导元件，其特征在于，

在基板的一面形成有光波导，

在所述基板的端部配置有向所述光波导入射光的入射部或从所述光波导出射光的出射部，

在所述入射部或所述出射部中的至少一者及其近旁的光波导上形成有电介质膜，

所述电介质膜中，包括具有比所述基板的折射率高的折射率的第一材料的电介质膜与具有比所述基板的折射率低的折射率的第二材料的电介质膜的电介质膜相互层叠。

2.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，在将所述电介质膜的平均折射率设为n、所述基板的折射率设为ns时，n/ns为0.970以上且1.003以下。

3.根据权利要求1或2所述的光波导元件，其特征在于，所述电介质膜的厚度为0.5μm以上。

4.根据权利要求1或2所述的光波导元件，其特征在于，所述基板的厚度为20μm以下。

5.根据权利要求4所述的光波导元件，其特征在于，所述基板经由树脂层而接合于加强基板。

6.根据权利要求1或2所述的光波导元件，其特征在于，所述电介质膜具有随着所述光波导远离所述端部，膜厚逐渐减少的部分。

7.根据权利要求1或2所述的光波导元件，其特征在于，所述基板为铌酸锂，所述电介质膜包括含有铌、钽、硅、钛、氧化锆、氧化钇、碲、铪、锌、铝、镁、锗中至少一个以上的元素的氧化膜或氮化膜。

8.根据权利要求7所述的光波导元件，其特征在于，所述电介质膜的第一材料或第二材料中的至少一种材料的线膨胀系数为铌酸锂的a轴与c轴的线膨胀系数之间的值。