[实用新型]一种直线气浮台

说明书

本实用新型公开了一种直线气浮台，其包括导轨，所述导轨内安装有直线电机，所述直线电机连接有气浮滑块；所述气浮滑块与所述导轨之间设有间隙；所述导轨包括下轨、右轨、左轨；所述右轨、左轨分别固定于所述下轨的右侧、左侧的上端部，所述右轨、左轨之间形成凹槽，下轨上侧面开有凹陷部，所述凹陷部内固定有所述直线电机的电机定子，所述电机定子上部位于所述凹槽内，所述电机定子内设有电机动子。本实用新型将气浮滑块环抱导轨设置，二者之间设置6个气浮面，增加了气浮面的数量以及面积，增加了气浮力，保证承载重物时也会保持平衡，避免终止运动，提高工作的效率，延长使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及气浮装置，具体是一种直线气浮台。

背景技术

在半导体加工行业中，经常使用直线运动导轨，直线运动导轨的作用是用来支撑和引导运动部件，按给定的方向做往复直线运动。

气浮导轨属于直线导轨的一种，气浮导轨利用气体压缩产生的气膜，从而实现无摩擦的直线式运动。目前使用的气浮导轨一般是长条形的导轨，其上放置倒U型的气浮滑块，利用导轨与气浮滑块之前的三个接触面(上接触面、两个侧接触面)来实现气体的压缩，从而实现气浮运动，然后，在长条形导轨配合倒U型气浮滑块的结构使用时，由于气浮滑块上侧放置的物体重量大，上接触面需要承载的重量也很大，当物体重量过大时，仅仅靠一个接触面来提供气浮力就远远不够，容易导致上下不平衡，影响气浮滑块的运行，严重时可能会终止运行，降低了工作的效率，缩短使用寿命，另外增加维修成本。

实用新型内容

为解决上述现有技术的缺陷，本实用新型提供一种直线气浮台，本实用新型将气浮滑块环抱导轨设置，二者之间设置6个气浮面，增加了气浮面的数量以及面积，增加了气浮力，保证承载重物时也会保持平衡，避免终止运动，提高工作的效率，延长使用寿命。

为实现上述技术目的，本实用新型采用如下技术方案：一种直线气浮台，其包括导轨，所述导轨内安装有直线电机，所述直线电机连接有气浮滑块；所述气浮滑块与所述导轨之间设有间隙；

所述导轨包括下轨、右轨、左轨；所述右轨、左轨分别固定于所述下轨的右侧、左侧的上端部，所述右轨、左轨之间形成凹槽，下轨上侧面开有凹陷部，所述凹陷部内固定有所述直线电机的电机定子，所述电机定子上部位于所述凹槽内，所述电机定子内设有电机动子；

所述气浮滑块包括上板、右板、左板、下板一、下板二；所述上板位于所述电机动子上方且与所述电机动子固定连接，所述右板位于所述右轨外侧且与所述上板右端固定连接，所述左板位于所述左轨外侧且与所述上板左端固定连接，所述下板一位于所述右轨下侧且与所述右板底部固定连接，所述下板二位于所述左轨下侧且与所述左板底部固定连接；

所述上板、右板、左板、下板一、下板二内部均开有若干气道，所述气道从气口与所述间隙连通设置；

所述导轨的两端均固定有挡板；所述导轨的一侧固定有底板，所述底板的端部固定有接线头，所述接线头连接拖链，所述拖链上连接有接线盒，所述接线盒固定连接在所述左板外侧；

所述接线盒上设有与所述气道连接的气管；

所述气浮滑块环抱所述导轨设置且二者之间有6个接触面。

进一步地，所述气道内部设有节流塞。

进一步地，所述左轨内侧面固定有光栅尺；所述上板内侧面固定有光栅尺读数头。

综上所述，本实用新型取得了以下技术效果：

1、本实用新型将气浮滑块环抱导轨设置，使得二者之间上下均有气浮面，保持上下的平衡，增加气浮面的数量也增加气浮面的面积，提高气浮力，保证承载有重物时也会上下平衡；

2、本实用新型将电机的定子安装在导轨内部的凹陷处，减小了占用空间，同时使得直线气浮台的厚度降低，使得本实用新型能够适用于空间较小、高度低的场合，提供适用性；