[实用新型]光阻涂布装置有效
| 申请号: | 201922045994.X | 申请日: | 2019-11-25 |
| 公开(公告)号: | CN210742674U | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
| 发明(设计)人: | 林刘恭 | 申请(专利权)人: | 光群雷射科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 韩嫚嫚;赵燕力 |
| 地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 光阻涂布 装置 | ||
1.一种光阻涂布装置,用于将一全像图图案转移至一饰材,其特征在于,所述光阻涂布装置包括:
一基座,具有一第一致动构件;
一圆柱形滚轮,利用一轮轴水平设置于所述基座上;以及
一喷淋构件,设置于所述圆柱形滚轮的上方,所述喷淋构件用以将一光阻材料喷洒于所述圆柱形滚轮上;
其中,在所述喷淋构件将所述光阻材料喷洒于所述圆柱形滚轮的状态下,所述第一致动构件能以一第一速度转动所述圆柱形滚轮;以及
所述光阻材料涂布喷扫于所述圆柱形滚轮后,所述第一致动构件能以一第二速度转动所述圆柱形滚轮,以将所述光阻材料均匀涂布至所述圆柱形滚轮上,其中所述第二速度高于所述第一速度。
2.如权利要求1所述的光阻涂布装置,其特征在于,所述圆柱形滚轮为金属材质制成的圆柱形滚轮。
3.如权利要求1所述的光阻涂布装置,其特征在于,所述喷淋构件具有一喷洒头。
4.如权利要求3所述的光阻涂布装置,其特征在于,还包括一用以将所述喷淋构件在所述圆柱形滚轮的上方水平移动的第二制动构件。
5.如权利要求1所述的光阻涂布装置,其特征在于,所述喷淋构件具有多个喷洒头。
6.如权利要求5所述的光阻涂布装置,其特征在于,所述多个喷洒头平均分配于所述圆柱形滚轮的上方。
7.如权利要求1所述的光阻涂布装置,其特征在于,所述第一速度为1转/分钟至500转/分钟。
8.如权利要求1所述的光阻涂布装置,其特征在于,所述第二速度为100转/分钟至3000转/分钟。
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