[实用新型]多光谱微观三维形貌检测装置

权利要求书

1.一种多光谱微观三维形貌检测装置，其特征在于：包括复色光照明模块、纵向色散增强型光学成像模块，

所述复色光照明模块按照光路传播方向依次设置有：复色光源(1)、聚光镜(2)、均匀准直光透镜组(3)、半反半透分光镜(4)、带纵向色散的物镜(5)；

所述纵向色散增强型光学成像模块按照光路传播方向依次设置有：纵向高度可调节样品台(6)、带纵向色散的物镜(5)、半反半透分光镜(4)、带纵向色散的管镜(7)、多光谱图像传感器(8)、图像显示与分析模块(9)；

所述复色光照明模块与纵向色散增强型光学成像模块共用所述半反半透分光镜(4)和带纵向色散的物镜(5)；

所述多光谱图像传感器(8)用于获取N幅样品在不同中心波长光谱波段的灰度图像，所述图像显示与分析模块(9)用于对相邻光谱波段下的灰度图像每一点进行做差处理，求得多光谱图像灰度差，通过预先标定的多光谱灰度差与纵向高度关系曲线，计算还原样本表面形貌。

2.根据权利要求1所述的多光谱微观三维形貌检测装置，其特征在于：所述纵向色散增强型光学成像模块包括至少一个带纵向色散的物镜(5)，或者包括至少一个带纵向色散的管镜(7)。

3.根据权利要求1所述的多光谱微观三维形貌检测装置，其特征在于：所述纵向色散增强型光学成像模块需消除横向色散。

4.根据权利要求1所述的多光谱微观三维形貌检测装置，其特征在于：所述多光谱图像传感器(8)可零时差同时采集N幅不同中心波长光谱波段的样品灰度图像I_n(x,y)，其中，N≥2，0≤x≤X，0≤y≤Y，1≤n≤N，X为光谱灰度图像总行数，Y为光谱灰度图像总列数。