[实用新型]一种金属有机化合物容器

说明书

一种金属有机化合物容器，用于盛放MO源，包括MO源瓶体、进气管路、出气管路、所述进气管路和出气管路的端部均设置有与MOCVD设备连接的连接头，所述连接头和MO源瓶体之间均设置手动阀，其特征在于：所述连接头和手动阀之间设置感应阀，通过控制连接头与MOCVD设备的连接和断开控制感应阀的打开和关闭。本实用新型通过在连接头和手动阀之间增设感应阀，并且在连接头的下端设置感应器，通过感应器感应连接头与MOCVD设备的连接和断开状态，进而控制感应阀的打开和关闭，以确保MO源瓶体内的MO源无法与外界空气接触，进而防止因手动阀误操作而导致的事故。

技术领域

本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种金属有机化合物容器。

背景技术

在LED工业生产中，通常使用化学气相沉积工艺法（MOCVD法）沉积各薄膜层，而其沉积过程所使用金属有机化合物（MO源）通常封装于密封容器（MO源瓶）内，在MO源瓶顶部设置进气管与出气管，将MOCVD机台与对应管路进行连接，运载气体通过进气管和出气管将源体输送至沉积腔室内进行反应。而金属有机化合物通常具有遇空气燃烧，遇水爆炸的特性,因此MO源瓶在未安装前和拆下后均要确保为密封状态。因此，目前通常在MO源瓶的进气管和出气管设置手动阀用于密封管路。

MO源只有在和机台的管路完成对接之后才可以打开手动阀，确保MO源不和空气进行接触。但近年来多家厂商均出现因MO源导致的安全事故，排查事故最终得到的原因均为人员更换MO源时未按照标准流程进行操作，导致MO源手阀误开从而和空气接触导致事故。

发明内容

为解决上述的因MO源瓶体手动阀因误操作而导致的事故，本实用新型提供了一种金属有机化合物容器，其通过在连接头和手动阀之间增设感应阀，并且在连接头的下端设置感应器，通过感应器感应连接头与MOCVD设备的连接和断开状态，进而控制感应阀的打开和关闭，以确保MO源瓶体内的MO源无法与外界空气接触，进而防止因手动阀误操作而导致的事故。

具体技术方案如下：

一种金属有机化合物容器，用于盛放MO源，包括MO源瓶体、进气管路、出气管路、所述进气管路和出气管路的端部均设置有与MOCVD设备连接的连接头，所述连接头和MO源瓶体之间均设置手动阀，其特征在于：所述连接头和手动阀之间设置感应阀，通过控制连接头与MOCVD设备的连接和断开控制感应阀的打开和关闭。

优选的，所述连接头的一侧设置用于感应连接头与MOCVD设备的连接和断开状态的感应器。

优选的，所述感应器为压力感应器或者红外感应器。

优选的，所述感应阀和感应器之间通过信号线连接，用于传输感应信号。

优选的，所述感应器外侧设置用于保护感应器的保护板。

其中，当所述连接头与MOCVD设备连接时，感应阀打开，先关闭手动阀，MOCVD设备将感应阀和连接头之间的管路内的气体抽除；后打开手动阀，MO源瓶体内的MO源进入MOCVD设备内进行外延生长；当所述连接头与MOCVD设备断开时，感应阀关闭，确保MO源瓶体为封闭状态，外界气体无法与MO源瓶体内的MO源接触。

优选的，所述MO源瓶体上端还设置有MO源的放入口。

本实用新型通过在连接头和手动阀之间增设感应阀，并且在连接头的下端设置感应器，通过感应器感应连接头与MOCVD设备的连接和断开状态，进而控制感应阀的打开和关闭，以确保MO源瓶体内的MO源无法与外界空气接触，进而防止因手动阀误操作而导致的事故。

附图说明

图1为本实用新型之结构示意图。

具体实施方式