[实用新型]工件曲翘变形检测装置

权利要求书

1.一种工件曲翘变形检测装置，其特征在于，包括：激光器、平行光透镜、第一固定支架、检测光源隔板、激光敏感元件、检测平台和信号处理模块；其中，

所述检测平台用于承载待检测工件，所述检测光源隔板竖直放置在所述待检测工件上；所述第一固定支架安装在所述检测光源隔板的第一面上，所述激光器安装在所述第一固定支架上；

所述激光器用于向所述检测光源隔板的底部发射检测光信号；所述平行光透镜设置在所述检测光源隔板的第一面一侧的传输光路上，所述平行光透镜用于将所述激光器发射的检测光信号转换为平行光信号；所述激光敏感元件用于在所述检测光源隔板的第二面一侧与所述激光器对称的位置上，接收所述底部下方的所述待检测工件反射的检测光信号，并将接收到的检测光信号转换为电流信号；

所述信号处理模块包括前置放大电路、二级放大电路、锁相放大电路和比较电路，所述激光敏感元件、所述前置放大电路、二级放大电路、锁相放大电路和比较电路依次连接；所述前置放大电路用于将所述电流信号转换为电压信号；所述二级放大电路用于将所述电压信号进行放大，所述锁相放大电路用于去除所述二级放大电路的输出信号中的噪声信号，输出目标电压信号；所述比较电路用于将所述目标电压信号与标准电压信号进行比较，并输出比较结果。

2.根据权利要求1所述的工件曲翘变形检测装置，其特征在于，还包括：第二固定支架；

所述第二固定支架安装在所述检测光源隔板的第二面上，且所述第二固定支架与所述第一固定支架关于所述检测光源隔板对称；

所述激光敏感元件安装在所述第二固定支架上。

3.根据权利要求1所述的工件曲翘变形检测装置，其特征在于，所述锁相放大电路具体包括：乘法器电路和低通滤波电路；

所述乘法器电路用于将所述二级放大电路的输出信号与参考信号进行乘法运算，所述低通滤波电路用于滤除所述乘法器电路的输出信号中的谐波分量，输出所述目标电压信号；

其中，所述参考信号与所述目标电压信号频率相同。

4.根据权利要求3所述的工件曲翘变形检测装置，其特征在于，所述低通滤波电路的截止频率小于所述参考信号的最小谐波分量频率。

5.根据权利要求1所述的工件曲翘变形检测装置，其特征在于，所述激光器具体为调制激光器。

6.根据权利要求5所述的工件曲翘变形检测装置，其特征在于，还包括：控制器；

所述控制器与所述调制激光器连接；

所述控制器用于控制所述调制激光器发射的检测光信号的光斑大小或者所述调制激光器发射的检测光信号的频率。

7.根据权利要求6所述的工件曲翘变形检测装置，其特征在于，所述控制器具体包括：现场可编程门阵列FPGA芯片及其外围电路，或者数字信号处理DSP芯片及其外围电路，或者ARM处理器及其外围电路。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的工件曲翘变形检测装置，其特征在于，所述信号处理模块还包括：第一电压跟随器、第二电压跟随器和第三电压跟随器；

所述第一电压跟随器和所述第二电压跟随器分别连接在所述二级放大电路的输入侧和输出侧，所述第三电压跟随器连接在所述锁相放大电路的输出侧，所述第三电压跟随器与所述比较电路连接。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的工件曲翘变形检测装置，其特征在于，所述标准电压信号与所述检测光源隔板的厚度一一对应。