[实用新型]光学式集成装置有效
| 申请号: | 201922026113.X | 申请日: | 2019-11-22 |
| 公开(公告)号: | CN211700285U | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
| 发明(设计)人: | 林峰;董佳群 | 申请(专利权)人: | 深圳阜时科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;G06K9/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 518055 广东省深圳市南山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 光学 集成 装置 | ||
1.一种光学式集成装置,其特征在于,包括:
晶圆,包括多个第一图像传感裸片,每一第一图像传感裸片包括多个像素单元,所述像素单元用于接收光束,并转换接收到的光束为相应的电信号,以用于获得外部对象的指纹信息;和
多个镜头模块,与所述多个第一图像传感裸片一一正对设置,所述镜头模块包括:
多个小透镜,设置在所述第一图像传感裸片上,所述多个小透镜彼此间隔设置,每个所述小透镜正对多个所述像素单元,所述小透镜用于会聚光束至所述像素单元;和
遮光部,设置在所述第一图像传感裸片上,所述遮光部位于所述多个小透镜之间的间隔区域且在高度上高出所述小透镜,所述遮光部用于遮挡光束。
2.如权利要求1所述的光学式集成装置,其特征在于,进一步包括:
过滤层,形成在所述晶圆上,所述过滤层用于透过目标波段的光束给所述多个第一图像传感裸片,以及过滤掉第二预设波段的光束。
3.如权利要求2所述的光学式集成装置,其特征在于,所述过滤层形成在所述晶圆与所述多个镜头模块之间,或者,所述过滤层形成在所述多个镜头模块背对所述晶圆的一侧。
4.如权利要求2所述的光学式集成装置,其特征在于,所述第二预设波段为所述目标波段以外的波段。
5.如权利要求4所述的光学式集成装置,其特征在于,所述预设波段为可见光,所述第二预设波段包括近红外光。
6.如权利要求2所述的光学式集成装置,其特征在于,所述过滤层通过蒸镀工艺形成在所述晶圆上。
7.如权利要求1或6所述的光学式集成装置,其特征在于,所述多个小透镜通过压印工艺形成在所述晶圆上。
8.如权利要求7所述的光学式集成装置,其特征在于,所述遮光部包括挡墙与遮光层,所述挡墙位于所述晶圆与所述遮光层之间,所述遮光层用于遮挡光束,其中,所述挡墙与所述多个小透镜为通过压印工艺一体成型。
9.如权利要求1所述的光学式集成装置,其特征在于,所述遮光部与所述小透镜的高度差为大于5微米且小于100微米。
10.如权利要求9所述的光学式集成装置,其特征在于,所述遮光部与所述小透镜的高度差为大于5微米且小于10微米。
11.如权利要求1所述的光学式集成装置,其特征在于,相邻的小透镜之间的节距为300微米至500微米中的任意数值。
12.如权利要求1所述的光学式集成装置,其特征在于,所述多个小透镜呈阵列排布,所述多个像素单元呈阵列排布。
13.如权利要求1所述的光学式集成装置,其特征在于,定义所述第一图像传感裸片中的所述多个像素单元上能够透过所述小透镜而接收到光束的区域为有效感光区域,每一有效感光区域分别正对一所述小透镜,透过所述小透镜的光束会聚到与所述小透镜相正对的有效感光区域。
14.如权利要求13所述的光学式集成装置,其特征在于,所述遮光部在高度上高出所述小透镜,用以使得透过一所述小透镜的光束中的全部或部分不会传输到邻近的或其它的小透镜所正对的有效感光区域。
15.如权利要求13所述的光学式集成装置,其特征在于,所述有效感光区域包括多个所述像素单元所在的区域。
16.如权利要求8所述的光学式集成装置,其特征在于,所述挡墙包括挡墙侧面和挡墙顶面,所述挡墙侧面位于所述挡墙顶面与所述晶圆的上表面之间,所述挡墙顶面为一平面。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





