[实用新型]一种半导体器件测试用的叠层母排连接装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体器件测试用的叠层母排连接装置，包括功率输入端、第一叠层母排、支撑电容、限流IGBT、第二叠层母排、传感器，所述第一叠层母排的后侧螺栓固定设置有支撑电容，所述第一叠层母排的底部设置有限流IGBT，所述限流IGBT的下端还设置有第二叠层母排，所述第二叠层母排的右侧设置有传感器。叠层母排连接装置包含有两个独立的叠层母排，在第一叠层母排上安装支撑电容，在第一叠层母排与第二叠层母排的连接处安装传感器，并利用第二叠层母排做为输出端子，构成三个功率层，最大程度减小了正、负极性线路之间的回路，有效降低杂散电感。

技术领域

本实用新型涉及电力电子器件测试技术领域，更具体涉及一种半导体器件测试用的叠层母排连接装置。

背景技术

工业的快速发展，使直流输电技术得到进步和电力电子技术进一步发展，也使得对电力电子器件的特性研究越来越重要。半导体行业就是其中最为重要的一个，人们对半导体产品的研究不断深入，其性能得到了进一步提高。在研究与分析半导体过程中，为了确保半导体在应用过程中作用能够得到充分发挥，对其测试提出了更高的要求。在测试半导体过程中，要采用合理的装夹方式，以及器件的测试前后工序的合理运动方式，从而达到高效的模式。

以IGBT为例，IGBT的特性研究包括了静态特性研究和动态特性研究，静态特性往往由datasheet(数据表)可得出，而动态特性则需要人为测量才能得到，而测量的准确性也非常重要。

在IGBT的特性研究中，需要将IGBT(被测件)放置于测试箱体中进行动静态测试，IGBT往往通过与测试夹具相连，然后测试夹具与测试箱中的叠层母排装置相连，实现与测试电路相连，即能够对该IGBT性能特性测试；而现有的叠层母排杂散电感较高，会影响对IGBT性能的测试结果。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种半导体器件测试用的叠层母排连接装置，以解决现有的叠层母排杂散电感较高的问题；

一种半导体器件测试用的叠层母排连接装置，包括功率输入端、第一叠层母排、支撑电容、限流IGBT、第二叠层母排、传感器，所述第一叠层母排的后侧螺栓固定设置有支撑电容，所述第一叠层母排的底部设置有限流IGBT，所述限流IGBT的下端还设置有第二叠层母排，所述第二叠层母排的右侧设置有传感器。

叠层母排连接装置包含有两个独立的叠层母排，在第一叠层母排上安装支撑电容，在第一叠层母排与第二叠层母排的连接处安装传感器，并利用第二叠层母排做为输出端子，构成三个功率层，最大程度减小了正、负极性线路之间的回路，有效降低杂散电感。

作为本实用新型进一步的方案：所述传感器为电流传感器。

作为本实用新型进一步的方案：所述传感器型号为HCS-LTS06A LTS06NPTBC06DS5。

作为本实用新型进一步的方案：所述第二叠层母排的下端左侧从上往下依次设有母线正极层、电感层、母线负极层；其中，所述母线正极层、电感层、母线负极层用于与测试夹具相连。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，叠层母排连接装置包含有两个独立的叠层母排，在第一叠层母排上安装支撑电容，在第一叠层母排与第二叠层母排的连接处安装传感器，并利用第二叠层母排做为输出端子，构成三个功率层，最大程度减小了正、负极性线路之间的回路，有效降低杂散电感。

2、本实用新型中，第二叠层母排的下端左侧从上往下依次设有母线正极层、电感层、母线负极层；母线正极层、电感层、母线负极层用于与测试夹具相连，连接方式简单，拆卸方便。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例。