[实用新型]一种用于传送晶片的机器人以及手臂

权利要求书

1.一种用于传送晶片的手臂，所述手臂的末端用于可拆卸地连接用于承托晶片的机器人手指，其特征在于，所述手臂包括基座和设置于所述基座上的运动机构；所述基座通过转动关节连接至外部机构，以使所述基座能够相对于所述外部机构水平转动；所述运动机构包括导引臂和若干转动关节；所述若干转动关节用于驱动所述导引臂和所述机器人手指联动，并相对于所述基座做水平伸缩运动；

所述手臂还包括传感器，所述导引臂具有相对的第一端和第二端，所述传感器安装在所述导引臂的第一端，且所述机器人手指安装于所述导引臂上并朝向所述导引臂的第二端。

2.根据权利要求1所述的一种用于传送晶片的手臂，其特征在于，所述运动机构还包括两组臂部，每组臂部至少包括大臂、过渡臂和小臂；

在每组所述臂部中：所述大臂的前端通过一个转动关节与所述基座连接，以使所述大臂能够相对于所述基座水平转动；所述大臂的后端通过一个转动关节与所述小臂的前端连接，以使所述小臂能够相对于所述大臂水平转动；所述小臂的后端通过一个转动关节与所述过渡臂的前端连接，以使所述过渡臂能够相对于所述小臂水平转动；所述过渡臂的后端与所述导引臂连接；

其中，两组所述臂部中的两个所述过渡臂分别连接至所述导引臂的底部和顶部，且所述机器人手指可拆卸地安装在与所述导引臂的顶部连接的一个所述过渡臂上，或者所述机器人手指可拆卸地安装在所述导引臂上。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于传送晶片的手臂，其特征在于，所述导引臂的第一端具有两个延伸臂，两个所述延伸臂均与所述第一端的朝向相同，且所述传感器设置于两个所述延伸臂的端部。

4.根据权利要求3所述的一种用于传送晶片的手臂，其特征在于，所述传感器包括接收器和发射器，所述接收器设置在一个所述延伸臂的端部，所述发射器设置在另一个所述延伸臂的端部，且所述发射器和所述接收器之间形成信号通路。

5.根据权利要求1所述的一种用于传送晶片的手臂，其特征在于，所述传感器为光电传感器。

6.一种用于传送晶片的机器人，其特征在于，包括机器人手指以及如权利要求1-5中任一所述的一种用于传送晶片的手臂，所述手臂的末端连接所述机器人手指，以驱使所述机器人手指做水平运动。

7.根据权利要求6所述的一种用于传送晶片的机器人，其特征在于，所述机器人手指包括保持部和基部，所述保持部为叉状并形成用于保持晶片的保持区域，所述基部与所述手臂的末端可拆卸地连接，所述保持部上设置有多个凸出的平台，多个所述平台内形成有用于吸附晶片的吸附孔。

8.根据权利要求7所述的一种用于传送晶片的机器人，其特征在于，所述保持部上设置有三个所述平台，三个所述平台呈三角形布置。

9.根据权利要求8所述的一种用于传送晶片的机器人，其特征在于，每个所述平台通过胶垫与晶片形成软接触。

10.根据权利要求7-9中任一项所述的一种用于传送晶片的机器人，其特征在于，所述机器人手指的材料为陶瓷。