[实用新型]光学检测仪器及其探测装置

说明书

本实用新型公开了一种光学检测仪器及其探测装置，该探测装置，包括探测器和镜头，还包括用于调节所述探测器和所述镜头相对位置的调节部件；所述调节部件被配置为调节使所述探测器绕旋转轴相对所述镜头旋转，或者使所述镜头绕旋转轴相对所述探测器旋转；或者，所述探测装置还包括安装台，所述调节部件被配置为使所述探测器和/或所述镜头绕旋转轴相对于所述安装台旋转。该探测装置通过调节部件的设置，能够调节探测器和镜头的位置，以确保探测装置的待测对象上的探测区域位于理论位置，从而确保光学检测仪器检测的准确性。

技术领域

本实用新型涉及探测技术领域，特别是涉及一种光学检测仪器及其探测装置。

背景技术

集成电路制造工艺一般包括较为复杂的工序，任何工艺环节出错都可能导致芯片的失效，所以在生产制造过程中需要对中间产品及成品进行精密的检测，目前常用的检测方法为采用光学检测仪器进行光学检测。

光学检测仪器包括光源单元、探测单元和控制单元，其中，光源单元用于提供检测光，探测单元用于收集信号光；探测单元一般包括探测器和镜头，探测器的探测区域经镜头成像在待测物的表面，探测器可收集该探测区域的信号光并产生图形信息。若是镜头未能将探测器的探测区域精准地成像在待测对象的表面，探测器探测到的信号光的强度将减弱，产生的图像信息的准确性也将降低，检测结构精度也将较低。

因此，在检测过程中，需要对探测器、镜头的位置以及探测器和镜头之间的相对位置进行精确调节，以满足检测需求，确保检测结果。如何设置一种探测装置能够满足检测过程中探测器和镜头的位置调节需求，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种光学检测仪器及其探测装置，该探测装置通过调节部件的设置，能够调节探测器和镜头的位置，以确保探测装置的待测对象上的探测区域位于理论位置，从而确保光学检测仪器检测的准确性。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种探测装置，包括探测器和镜头，还包括用于调节所述探测器和所述镜头相对位置的调节部件；

所述调节部件被配置为调节使所述探测器绕旋转轴相对所述镜头旋转，或者使所述镜头绕旋转轴相对所述探测器旋转；

或者，所述探测装置还包括安装台，所述调节部件被配置为使所述探测器和/或所述镜头绕旋转轴相对于所述安装台旋转。

该光学检测仪器的探测装置设置有调节部件，该调节部件能够调节探测器和镜头之间的相对位置，如此，可通过调节部件的调节使得探测器的探测区域经镜头准确成像在待测对象的表面，从而提高探测的准确性。

如上所述的探测装置，当所述调节部件被配置为调节使所述探测器绕旋转轴相对所述镜头旋转，或者使所述镜头绕旋转轴相对所述探测器旋转时，所述探测器包括第一连接件，所述镜头包括第二连接件；

当所述调节部件被配置为使所述探测器和/或所述镜头绕旋转轴相对于所述安装台旋转时，所述镜头或所述探测器包括第一连接件，所述安装台包括第二连接件；

所述第一连接件通过所述调节部件与所述第二连接件连接；

所述调节部件包括第一调节机构，所述第一调节机构包括第一调节组件；

所述第一调节组件被配置为调节位于所述第一连接件与所述第二连接件之间的第一调节组件在第一方向上的第一长度；

所述第一方向与所述旋转轴垂直或具有锐角夹角。

如上所述的探测装置，所述第一调节组件的个数为至少三个，所述至少三个第一调节组件的第一方向不共线；所述至少三个第一调节组件用于使至少两个第一长度不相等；

或者，所述第一调节机构还包括旋转连接件，所述旋转连接件被配置为使所述第一连接件绕所述旋转轴旋转，且限定所述第一连接件与所述第二连接件之间的平移。