[实用新型]热交换台和应用其的晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种晶硅铸锭炉，包括用以盛放硅料的坩埚和承载上述坩埚的热交换台，其特征在于，所述热交换台包括主体区和位于该主体区角落处的角区，所述角区的单位面积热传导效率低于所述主体区的单位面积热传导效率。

2.根据权利要求1所述的晶硅铸锭炉，其特征在于，所述角区的厚度小于所述主体区的厚度。

3.根据权利要求2所述的晶硅铸锭炉，其特征在于，所述主体区和所述角区分别具有面向坩埚的承载面，且两者的承载面共同构成矩形，所述角区的承载面呈直角三角形。

4.根据权利要求2所述的晶硅铸锭炉，其特征在于，所述主体区的厚度d1和所述角区的厚度d2满足：1/6≤d2/d1≤1/2。

5.根据权利要求4所述的晶硅铸锭炉，其特征在于，所述主体区的厚度d1和所述角区的厚度d2满足：

100mm≤d1≤140mm；20mm≤d2≤60mm。

6.根据权利要求3所述的晶硅铸锭炉，其特征在于，所述直角三角形的直角边的边长l满足：l≤110mm。

7.根据权利要求1所述的晶硅铸锭炉，其特征在于，所述角区和所述主体区采用不同热传导性能的材料制成。

8.一种热交换台，应用于晶硅铸锭炉，其特征在于，所述热交换台包括主体区和位于该主体区角落处的角区，所述角区的单位面积热传导效率低于所述主体区的单位面积热传导效率。

9.根据权利要求8所述的热交换台，其特征在于，所述角区的厚度小于所述主体区的厚度；所述主体区的厚度d1和所述角区的厚度d2满足：1/6≤d2/d1≤1/2。

10.根据权利要求9所述的热交换台，其特征在于，所述主体区的厚度d1和所述角区的厚度d2满足：

100mm≤d1≤140mm；20mm≤d2≤60mm。