[实用新型]一种夹具

说明书

本实用新型公开了半导体制造技术领域内的一种夹具。该种夹具，包括夹具尾部，夹具尾部延伸出两片夹臂，两片夹臂前端分别设置有夹头，两片夹臂相对设置且相互之间留有间隙，夹臂侧面设置有挑开部，挑开部用以拉开卡簧。该夹具可以拉开卡簧再夹取硅片，提高工作效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种夹具。

背景技术

现有半导体产线中使用的镊子夹取硅片，而针对蒸发工序中行星盘的上下片，需要将行星盘的卡簧打开后，才能夹取硅片，目前常规使用镊子尖部挑开卡簧，但如此做容易损伤镊子尖部，进而磨损硅片，而另使用用钩子等锐物拉开卡簧的话，不仅增加了零部件数量收纳不便，同时难以单手操作，使用不便。

实际操作中亟需一种既可以拉开卡簧，又可以夹取硅片的夹具，方便操作人员针对蒸发工序中行星盘进行上下片操作，增加工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种既可以拉开卡簧，又可以夹取硅片的夹具。

为了实现上述实用新型目的，本实用新型一种夹具采用的如下技术方案：

一种夹具，包括夹具尾部，所述夹具尾部延伸出两片夹臂，两片所述夹臂前端分别设置有夹头，两片所述夹臂相对设置且相互之间留有间隙，所述夹臂侧面设置有挑开部，所述挑开部用以拉开卡簧。

进一步地，所述挑开部包括连接杆和拉钩，所述连接杆一端与所述夹臂连接，另一端与拉钩连接。

进一步地，所述连接杆与夹臂侧面呈45°且朝向所述夹头方向倾斜。保证拉钩在拉开卡簧的同时，夹头部位不碰到硅片。

进一步地，所述连接杆与夹臂螺纹连接。挑开部可拆卸连接于夹臂，方便更换容易磨损的拉钩。

进一步地，所述夹头采用特氟龙材料制作。特氟龙材料材质较软，可以有效避免夹取硅片过程中擦伤硅片。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：该夹具可以拉开卡簧再夹取硅片，提高工作效率；容易磨损的拉钩可拆卸连接于夹臂，方便更换。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的俯视结构示意图；

其中，1夹具尾部，2夹臂，3夹头，4挑开部，41连接杆，42拉钩。

具体实施方式

下面结合具体实施方式，进一步阐明本实用新型，应理解这些实施方式仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“外周面”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。