[实用新型]一种刻蚀液提纯净化装置有效

专利信息
申请号: 201922002486.3 申请日: 2019-11-19
公开(公告)号: CN211987383U 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: 邵暾 申请(专利权)人: 苏州费米苏路兴电子科技有限公司
主分类号: B01D29/54 分类号: B01D29/54;B01D29/33;B01D29/86;B01D29/96
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州市苏州工*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 刻蚀 提纯 净化 装置
【权利要求书】:

1.一种刻蚀液提纯净化装置,其特征在于,包括桶体,所述桶体设置上下两层,所述桶体下层设置进液口和出液口,所述进液口设置在桶体下层的上方,所述出液口设置在桶体下层的下方,所述桶体上层设置下凹的净化腔,所述净化腔设置为多边形,所述净化腔侧边设置过滤棒,所述桶体上层顶部设置盖板,所述盖板设置提升孔。

2.根据权利要求1所述的一种刻蚀液提纯净化装置,其特征在于,所述净化腔设置为八边形结构,所述过滤棒设置两层。

3.根据权利要求1所述的一种刻蚀液提纯净化装置,其特征在于,所述过滤棒包括密封盖,所述密封盖连接中空的过滤芯,所述过滤芯设置多个均匀排列的过液口,所述过滤芯套接支撑弹簧,所述支撑弹簧外围包裹过滤网,所述过滤网封装过滤芯且通过支撑弹簧支撑,所述过滤网在与密封盖和过滤芯封装处设置密封胶,所述过滤芯尾部设置螺杆结构,所述螺杆结构连接固定净化腔的侧边,所述净化腔侧边设置与过滤棒配合使用的防回流结构,所述防回流结构包括设置在过滤芯尾部位置的封堵球体,所述封堵球体活动设置在移动杆上,所述移动杆上套接弹簧,所述弹簧连接控制封堵球体,所述封堵球体两侧设置流通管路。

4.根据权利要求1所述的一种刻蚀液提纯净化装置,其特征在于,所述净化腔底部设置电机,所述电机连接桶体下层的丝杆,所述丝杆套接的丝杆螺母与搅动板套接固定。

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