[实用新型]真空过滤装置及系统

权利要求书

1.一种真空过滤装置，其特征在于，其包括：

一箱体；

分别位于所述箱体两端的进气口和排气口；

位于所述进气口和所述排气口之间的过滤器，所述过滤器连接于所述箱体的顶板和底板之间；以及，

设置于所述顶板和所述底板中的介质通路，

其中，所述过滤器包括：相互交错间隔排列的梳状板，所述梳状板用于提供之字形的气体通路。

2.如权利要求1所述的真空过滤装置，其特征在于，所述进气口连接于真空腔室，或者连接于靠近真空腔室的高真空度的真空泵的排气口，所述高真空度的真空泵的真空范围为10^-7Torr–10^-1Torr。

3.如权利要求1所述的真空过滤装置，其特征在于，所述排气口连接于初级泵的进气口，所述初级泵的真空范围为10^-3Torr–10Torr。

4.如权利要求1所述的真空过滤装置，其特征在于，所述过滤器可拆卸的连接于所述顶板和所述底板之间。

5.如权利要求1所述的真空过滤装置，其特征在于，相邻的所述梳状板之间的间隙为1mm-5mm。

6.如权利要求1所述的真空过滤装置，其特征在于，所述介质通路中用于通入冷却介质，所述冷却介质的温度低于进入所述进气口的气体的液化温度或固化温度。

7.如权利要求6所述的真空过滤装置，其特征在于，所述真空过滤装置还包括设置于所述箱体外部的隔热保温层。

8.如权利要求1所述的真空过滤装置，其特征在于，所述介质通路中用于通入加热介质，所述加热介质的温度高于进入所述进气口的化合物气体的气体分解温度。

9.如权利要求1所述的真空过滤装置，其特征在于，所述进气口和所述过滤器之间设置有用于放置过滤网和/或吸附剂的第一腔室，所述排气口和所述过滤器之间设置有用于放置过滤网和/或吸附剂的第二腔室。

10.如权利要求1所述的真空过滤装置，其特征在于，所述梳状板为铜、铝、铜铝合金或不锈钢。

11.一种真空过滤系统，其特征在于，其包括第一真空过滤装置以及连接于所述第一真空过滤装置下游的第二真空过滤装置，所述第一真空过滤装置为如权利要求8所述的真空过滤装置，所述第二真空过滤装置为如权利要求6或7所述的真空过滤装置。