[实用新型]一种三甲氧基含氢硅烷灌装逸散尾气处理装置

权利要求书

1.一种三甲氧基含氢硅烷灌装逸散尾气处理装置，其特征在于，包括：

气体收集箱(1)，所述气体收集箱(1)的一侧设置有开口(7)，

锥形抽气管(2)，设置在所述气体收集箱(1)内的顶部，

抽气风机(3)，设置在所述气体收集箱(1)的一侧，且所述抽气风机(3)进气口通过穿过所述气体收集箱(1)顶部的管道与所述锥形抽气管(2)出气口连通，所述抽气风机(3)的出气口与外界连通，

罐装口吸气装置(4)，设置在所述气体收集箱(1)内，通过管道与所述抽气风机(3)的进气口连通。

2.根据权利要求1所述的一种三甲氧基含氢硅烷灌装逸散尾气处理装置，其特征在于，所述罐装口吸气装置(4)包括：

固定架(41)，设置在所述气体收集箱(1)内，

吸气罐(42)，设置在所述固定架(41)上，且所述吸气罐(42)的开口朝下，所述吸气罐(42)通过管道与所述抽气风机(3)的进气口连通。

3.根据权利要求1所述的一种三甲氧基含氢硅烷灌装逸散尾气处理装置，其特征在于，还包括：

尾气处理装置(5)，所述尾气处理装置(5)的进气口与所述抽气风机(3)的出气口连通，所述尾气处理装置(5)的出气口与外界连通。

4.根据权利要求3所述的一种三甲氧基含氢硅烷灌装逸散尾气处理装置，其特征在于，所述尾气处理装置(5)包括：

溶液罐(51)，

喷淋塔(52)，设置在所述溶液罐(51)上，且所述喷淋塔(52)与所述溶液罐(51)连通，所述喷淋塔(52)的进气口通过管道与所述抽气风机(3)的出气口连通，所述喷淋塔(52)的出气口与外界连通，

循环泵(53)，所述循环泵(53)的进口通过管道与所述溶液罐(51)连通，所述循环泵(53)的出口通过管道与所述喷淋塔(52)的花洒连通。

5.根据权利要求3所述的一种三甲氧基含氢硅烷灌装逸散尾气处理装置，其特征在于，所述尾气处理装置(5)设置有若干个，且若干个所述尾气处理装置(5)之间通过管道依次连通。

6.根据权利要求1所述的一种三甲氧基含氢硅烷灌装逸散尾气处理装置，其特征在于，还包括：

球形壳体(61)，设置在所述锥形抽气管(2)内，所述球形壳体(61)上设置有若干个通孔(62)，所述球形壳体(61)通过管道与所述抽气风机(3)连通。

7.根据权利要求6所述的一种三甲氧基含氢硅烷灌装逸散尾气处理装置，其特征在于，还包括：

导气管(63)，一端设置在所述通孔(62)外，另一端为自由端。