[实用新型]一种化学气相沉积炉焦油冷凝装置

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉焦油冷凝装置，其特征在于：包括筒状的本体，所述本体上部开设有进气口（1-1），下部开设有出油口（1-3）和出气口（1-2）；

所述本体中设有内层通道（300）、位于通道外层的中层环形腔（200）以及位于中层环形腔（200）外层的外层环形腔（100）；进气口（1-1）与外层环形腔（100）的上部相连通，所述外层环形腔（100）的底部与中层环形腔（200）的底部均与出油口（1-3）相通，所述中层环形腔（200）的上部与内层通道（300）的上部相连通，所述内层通道（300）的下端与所述出气口（1-2）相通；

所述本体中还设置有冷却装置。

2.如权利要求1所述的化学气相沉积炉焦油冷凝装置，其特征在于：所述外层环形腔（100）和中层环形腔（200）中分别设有螺旋片。

3.如权利要求2所述的化学气相沉积炉焦油冷凝装置，其特征在于：所述本体包括外壳（1）、中间筒（2）和内层筒（3）；

所述外壳（1）的上部为筒状，底部为漏斗形结构，所述进气口（1-1）开设在外壳（1）的顶部侧壁上，出气口（1-2）开设在外壳（1）下部侧壁上，所述出油口（1-3）开设在漏斗形部分的最底端；

中间筒（2）和内层筒（3）都放置在外壳（1）中，内层筒（3）放置在中间筒（2）中，中间筒（2）和外壳（1）围成所述外层环形腔（100），中间筒（2）和内层筒（3）围成中层环形腔（200），所述内层筒（3）的内腔即所述内层通道（300）；

中间筒（2）和内层筒（3）的底部均与所述漏斗形部分的内腔相通；

所述内层筒（3）的上部侧壁上开设有开窗（3-4），以使内层通道（300）与中层环形腔（200）相通。

4.如权利要求3所述的化学气相沉积炉焦油冷凝装置，其特征在于：所述中间筒（2）的顶部具有环形顶板（2-3），所述内层筒（3）的顶部具有圆形顶板（3-3），所述环形顶板（2-3）的外边缘与所述外壳（1）的顶部相接、内边缘与所述圆形顶板（3-3）的外边缘相接，以构成本体的封闭式顶部。

5.如权利要求4所述的化学气相沉积炉焦油冷凝装置，其特征在于：所述中间筒（2）和内层筒（3）同时还作为所述冷却装置，二者的筒壁中均设有用于输送冷却介质的中空腔，所述环形顶板（2-3）上开设有与中间筒（2）的中空腔相连通的第一冷却介质进口（2-1）和第一冷却介质出口（2-2），所述圆形顶板（3-3）上开设有与内层筒（3）的中空腔相连通的第二冷却介质进口（3-1）和第二冷却介质出口（3-2）。

6.如权利要求3至5任一所述的化学气相沉积炉焦油冷凝装置，其特征在于：所述中间筒（2）的外壁上设有第一螺旋片（2-4），内层筒（3）的外壁上设有第二螺旋片（3-5）。