[实用新型]一种单晶炉用直线导轨测径仪有效
| 申请号: | 201921961465.8 | 申请日: | 2019-11-14 |
| 公开(公告)号: | CN210796695U | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
| 发明(设计)人: | 李元成;何瑞华 | 申请(专利权)人: | 济宁市华祥石墨制品有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/26 | 分类号: | C30B15/26;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京鼎德宝专利代理事务所(特殊普通合伙) 11823 | 代理人: | 牟炳彦 |
| 地址: | 272400 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶炉用 直线导轨 测径仪 | ||
本实用新型公开了一种单晶炉用直线导轨测径仪,属于单晶炉技术领域。一种单晶炉用直线导轨测径仪,包括基座,基座的顶部连接有导轨件,导轨件外壁滑动连接有滑块,滑块外壁固定连接有光学镜头,基座外壁连接有标尺,基座外壁开凿有L形槽,L形槽内壁滑动连接有L形杆,基座内还开凿有滑槽,L形槽与滑槽相互连通,滑槽内壁滑动连接有限位杆,限位杆固定连接在L形杆的底部,滑槽内壁固定连接有固定杆,限位杆外壁开凿有与固定杆相配合的凹槽,凹槽内壁连接有弹性元件,弹性元件远离凹槽内壁的一端与固定杆相连;本实用新型结构简单,使用方便,当测径仪基座需要维修或者更换时,便于拆卸和安装,满足使用所需。
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域,尤其涉及一种单晶炉用直线导轨测径仪。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,单晶直径在生长过程中可受到温度,提拉速度与转速,坩埚跟踪速度与转速,保护气体的流速等因素的影响,单晶成型后,一般采用外带测径仪测取其单晶的直径。
现有技术中专利号为CN301520678754.2的中国实用新型公开了一种单晶炉用直线导轨测径仪,包括一测径仪基座,测径仪基座上设置有直线导轨,直线导轨上设置有标尺,滑块安装在直线导轨上并沿直线导轨运动,滑块上还固定有光学镜头,该实用新型在基座上设有标尺及直线导轨,将镜头安装在滑块上,通过直线导轨上的滑块进行滑动,从而读出准确的数据,既便于操作,又增强了直尺的稳定性;但是该实用新型是通过基座固定螺丝将测径仪基座固定,虽然使测径仪基座不会再左右晃动,但是当测径仪需要检修或者更换时,却使得测径仪的安装及拆卸不方便,无法满足使用所需。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的问题,而提出的一种单晶炉用直线导轨测径仪。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种单晶炉用直线导轨测径仪,包括基座,所述基座的顶部连接有导轨件,所述导轨件外壁滑动连接有滑块,所述滑块外壁固定连接有光学镜头,所述基座外壁连接有标尺,所述基座外壁开凿有L形槽,所述L形槽内壁滑动连接有L形杆,所述基座内还开凿有滑槽,所述L形槽与滑槽相互连通,所述滑槽内壁滑动连接有限位杆,所述限位杆固定连接在L形杆的底部,所述滑槽内壁固定连接有固定杆,所述限位杆外壁开凿有与固定杆相配合的凹槽,所述凹槽内壁连接有弹性元件,所述弹性元件远离凹槽内壁的一端与固定杆相连。
优选的,所述L形槽内壁连接有滑杆,所述L形杆外壁开凿有与滑杆相配合的通孔。
优选的,所述L形杆外壁连接有两个第一磁铁,两个第一磁铁分别置于通孔的两侧,所述L形槽内壁连接有与第一磁铁相配合的第二磁铁。
优选的,所述L形杆的顶部连接有橡胶垫,且所述橡胶垫外壁设置有防滑纹。
优选的,所述限位杆设置有两个,两个所述限位杆对称连接在基座的两侧。
优选的,所述限位杆远离凹槽的一端设置为梯形。
与现有技术相比,本实用新型提供了一种单晶炉用直线导轨测径仪,具备以下有益效果:
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