[实用新型]一种PECVD尾气处理装置

说明书

本实用新型公开了一种PECVD尾气处理装置，包括收集构件，所述收集构件的右侧安装有进气管，所述收集构件的内部安装有除尘构件，所述除尘构件的左侧上下两端均安装有撑杆，所述撑杆的外壁套接有插管，所述插管之间安装有过滤装置。该PECVD尾气处理装置，通过支板、插管、第一螺纹管、过滤袋、支块、横杆和支架的配合，达到了可以对进气管进入到箱体内部带有灰尘的有害气体中的灰尘进行过滤工作，同时可以对过滤袋进行更换工作，通过外壳、盒体、环板、过滤棉和活性炭的配合，达到了可以对除尘后的有害气体中的有害物质进行过滤净化工作，同时方便对过滤棉和活性炭进行更换工作，达到了可以将灰尘进行过滤收集工作，方便对灰尘的处理。

技术领域

本实用新型涉及PECVD尾气处理技术领域，具体为一种PECVD尾气处理装置。

背景技术

PECVD：是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜，为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)，是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜，现有的PECVD尾气处理装置在使用时虽然做到了对灰尘进行过滤工作，但是不方便对灰尘进行收集处理工作，同时无法对有害气体中的有害物质进行有效处理净化工作，无法对过滤构件和净化构件进行更换工作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种PECVD尾气处理装置，以解决上述背景技术中提出现有的PECVD尾气处理装置在使用时虽然做到了对灰尘进行过滤工作，但是不方便对灰尘进行收集处理工作，同时无法对有害气体中的有害物质进行有效处理净化工作，无法对过滤构件和净化构件进行更换工作的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种PECVD尾气处理装置，包括收集构件，所述收集构件的右侧安装有进气管，所述收集构件的内部安装有除尘构件，所述除尘构件的左侧上下两端均安装有撑杆，所述撑杆的外壁套接有插管，所述插管之间安装有过滤装置，所述过滤装置的内部左侧安装有第二螺纹管，所述第二螺纹管的内部插接有排气管；

优选的，所述除尘构件包括支板、插管、第一螺纹管、过滤袋、支块、横杆和支架，所述支板之间固接有插管，所述插管的外壁右侧螺纹连接有第一螺纹管，所述第一螺纹管的右侧固接有过滤袋，第一螺纹管的内壁固接有支块，所述支块的右侧固接有横杆，所述横杆的外壁固接有多个支架。

优选的，所述过滤袋的材质为尼龙布制成。

优选的，所述支架为多个等距设置。

优选的，所述收集构件包括箱体、竖管和收集箱，所述箱体的底端插接有竖管，所述竖管的底端插接有收集箱。

优选的，所述过滤装置包括外壳、盒体、环板、过滤棉、活性炭，所述外壳的内部设有两个盒体，所述盒体的内部分别放置有过滤棉和活性炭，所述外壳的内壁右侧固接有环板，所述外壳与插管固定相连。

优选的，所述盒体与外壳为间隙配合。

优选的，所述过滤棉的材质为聚酯纤维。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该PECVD尾气处理装置，通过箱体、竖管和收集管的配合，达到了可以对过滤下来的灰尘进行收集和处理工作，通过支板、插管、第一螺纹管、过滤袋、支块、横杆和支架的配合，达到了可以对进气管进入到箱体内部带有灰尘的有害气体中的灰尘进行过滤工作，同时可以对过滤袋进行更换工作，通过外壳、盒体、环板、过滤棉和活性炭的配合，达到了可以对除尘后的有害气体中的有害物质进行过滤净化工作，同时方便对过滤棉和活性炭进行更换工作，达到了可以将灰尘进行过滤收集工作，方便对灰尘的处理。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；