[实用新型]一种尾气处理装置和一种多晶硅生产系统

说明书

本实用新型公开了一种尾气处理装置和一种多晶硅生产系统，该多晶硅生产系统中设置有该尾气处理装置。该尾气处理装置包括硅粉过滤器、气包和能够产生脉冲气流的反吹角阀。其中：气包的入口连接气源，气源能够向气包内输送高压氢气；气包的出口通过反吹管线与硅粉过滤器的上部连接，反吹管线中设置有反吹角阀，用于对硅粉过滤出器中的滤芯进行反吹。可见，该尾气处理装置中，通过气包和反吹角阀，能够去除滤芯上粘附的硅粉，避免硅粉过滤器的滤芯发生堵塞。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产制造技术领域，特别涉及一种尾气处理装置和一种设置有该装置的多晶硅生产系统。

背景技术

在多晶硅生产过程中，一般通过硅粉过滤器对尾气进行处理。通过硅粉过滤器，能够将尾气中的硅粉过滤出来，并进行收集。

现有技术中，硅粉过滤器包括壳体和设置在壳体内的滤芯，尾气经过滤芯时便能够将硅粉过滤出出来。

在生产过程中，通过硅粉过滤器进行尾气处理时，硅粉过滤器中的滤芯会逐渐粘接越来越多的硅粉，而由于滤芯设置在硅粉过滤器的壳体内，清理起来十分不方便，从而滤芯非常容易发生堵塞，影响整个工艺流程的连续稳定。

因此，在多晶硅生产过程中，如何避免硅粉过滤器的滤芯发生堵塞，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种尾气处理装置和一种多晶硅生产系统，在多晶硅生产过程中，通过气包和反吹角阀，能够避免硅粉过滤器的滤芯发生堵塞。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种尾气处理装置，包括硅粉过滤器、气包和能够产生脉冲气流的反吹角阀，其中：

所述气包的入口连接气源，所述气源能够向所述气包内输送高压氢气；

所述气包的出口通过反吹管线与所述硅粉过滤器的上部连接，所述反吹管线中设置有所述反吹角阀，用于对所述硅粉过滤出器中的滤芯进行反吹。

优选地，在上述尾气处理装置中，所述气源通过压缩机向所述气包内输送高压氢气。

优选地，在上述尾气处理装置中，所述反吹角阀为可在250秒内完成“关-开-关”动作的反吹角阀。

优选地，在上述尾气处理装置中：

每台所述硅粉过滤器中设置有多个所述滤芯；

每台所述硅粉过滤器上设置有多个所述反吹管线，每个所述反吹管线中设置有一个所述反吹角阀；

每个所述反吹管线连接一个所述滤芯，用于对其连接的所述滤芯进行反吹。

优选地，在上述尾气处理装置中：

每台所述硅粉过滤器中设置有多个滤芯组，每个所述滤芯组中包括多个所述滤芯；

每台所述硅粉过滤器上设置有多个所述反吹管线，每个所述反吹管线中设置有一个所述反吹角阀；

每个所述反吹管线连接一个所述滤芯组。

优选地，在上述尾气处理装置中，每台所述硅粉过滤器上设置有10个所述反吹管线和两个所述气包，每5个所述反吹管线连接一个所述气包。

优选地，在上述尾气处理装置中，还包括用于控制所述反吹角阀周期性循环动作的控制装置。

优选地，在上述尾气处理装置中，所述硅粉过滤器的底部设置有用于连接硅粉排放管线的硅粉排放口；

所述硅粉过滤器的顶部设置有用于连接氢气出口管线的氢气出口；

所述滤芯位于所述硅粉排放口和所述氢气出口之间；