[实用新型]一种等离子体处理设备的水车式治具回流系统

权利要求书

1.一种等离子体处理设备的水车式治具回流系统，其特征在于：包括等离子体处理系统1.1和治具回流系统，所述等离子体处理系统1.1内设有滚轮传输机构1.4，所述治具回流系统包括安装在等离子体处理系统两端的前端水车式搬运机构1.2和后端水车式搬运机构1.3，以及底部的回流滚轮机构1.5。

2.根据权利要求1所述的一种等离子体处理设备的水车式治具回流系统，其特征在于：所述水车式搬运机构由两边对称的链条传送机构组成，链条2.1上安装有承载座2.2用于承载治具2.4，承载座的层数大于一层；其中驱动轮2.3用于提供链条2.1运行的动力，当需要治具2.4向上搬运时，左侧驱动轮逆时针旋转带动左侧链条上的承载座上升，右侧驱动轮顺时针旋转，带动右侧链条上的承载座上升；两侧的驱动轮2.3同步反向旋转就能够使得治具2.4上升或者下降，承载座2.2在链条2.1上有多层分布，两侧的驱动轮2.3只要沿着各自固定的方向旋转，使承载座2.2环绕跑道形的链条2.1不断循环地搬运治具。

3.根据权利要求1所述的一种等离子体处理设备的水车式治具回流系统，其特征在于：在水车式搬运机构的最下面一层是左右两排传输滚轮2.5，治具2.4下降到最底下一层后就落到底部传输滚轮2.5上，可以直接使用滚轮的动力传输到回流滚轮1.5上，或直接接受从回流滚轮1.5传输过来的治具2.4。

4.根据权利要求2所述的一种等离子体处理设备的水车式治具回流系统，其特征在于：所述承载座2.2在单层内是断续分布的，在承载座2.2之间的间隔设置了底部传输滚轮2.5，承载座2.2与底部传输滚轮2.5之间就不会相互干涉。

5.根据权利要求1所述的一种等离子体处理设备的水车式治具回流系统，其特征在于：所述治具2.4在水车搬运机构的顶部由推杆2.7推动进出等离子体处理系统1.1。

6.根据权利要求2所述的一种等离子体处理设备的水车式治具回流系统，其特征在于：所述链条2.1连续滚动，或依据每个承载座2.2的间隙长度步进滚动。