[实用新型]一种气凝胶隔热结构宽波段红外探测器有效
| 申请号： | 201921931563.7 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN210862939U | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 马建华;黄志明;褚君浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 凝胶 隔热 结构 波段 红外探测器 | ||
【权利要求书】：
1.一种气凝胶隔热结构宽波段红外探测器，包括衬底(1)，隔热层(2)，保护层(3)，热敏电阻薄膜(4)，金属电极(5)；其特征在于：
所述的红外探测器自衬底(1)之上依次为隔热层(2)、保护层(3)、热敏电阻薄膜(4)和金属电极(5)；
所述的衬底(1)为硅衬底；
所述的隔热层(2)为二氧化硅气凝胶隔热层，厚度为2-5μm；
所述的保护层(3)为致密二氧化硅保护层，厚度50-150nm；
所述的热敏电阻薄膜(4)为锰钴镍氧热敏电阻薄膜，厚度为0.2-1μm；
所述的金属电极(5)为铬和金复合电极，厚度分别为30nm和150nm。
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