[实用新型]一种新型真空镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种新型真空镀膜设备，具体涉及真空镀膜领域，包括镀膜箱和换料箱，所述换料箱固定设于镀膜箱两侧，所述镀膜箱内部活动设有固定板和安装盒，且固定板位于安装盒两侧，所述镀膜箱两侧开设有出料口，所述出料口远离镀膜箱的侧面铰链连接有密封门，所述换料箱内部底层固定安装有一号电动推杆，所述一号电动推杆顶端固定设有活动杆，所述换料箱内部中层固定安装有二号电动推杆，且二号电动推杆与一号电动推杆之间垂直设置，所述固定板靠近安装盒的侧面固定设有连接板，所述安装盒内部两侧均固定安装有三号电动推杆。本实用新型便于自动更换靶件，提高了生产效率，自动化程度高，节省劳动力。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，更具体地说，本实用涉及一种新型真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜技术一般分为两大类，即物理气相沉积技术和化学气相沉积技术，物理气相沉积技术是指在真空条件下，利用各种物理方法，将镀料气化成原子、分子或使其离化为离子，直接沉积到基体表面上的方法。

现有的真空镀膜设备不便自动更换靶件，降低了生产效率。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种新型真空镀膜设备，本实用新型所要解决的技术问题是：如何自动更换靶件。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型真空镀膜设备，包括镀膜箱和换料箱，所述换料箱固定设于镀膜箱两侧，所述镀膜箱内部活动设有固定板和安装盒，且固定板位于安装盒两侧，所述镀膜箱两侧开设有出料口，所述出料口远离镀膜箱的侧面铰链连接有密封门，所述换料箱内部底层固定安装有一号电动推杆，所述一号电动推杆顶端固定设有活动杆，所述换料箱内部中层固定安装有二号电动推杆，且二号电动推杆与一号电动推杆之间垂直设置，所述固定板靠近安装盒的侧面固定设有连接板，所述安装盒内部两侧均固定安装有三号电动推杆，所述三号电动推杆靠近连接板的端部固定设有连接块，所述连接板靠近安装盒的侧面开设有滑槽，所述换料箱内部顶层贯穿有齿条板，所述齿条板底部设有齿轮，所述齿条板顶部设有挡板，且挡板和齿轮均位于换料箱远离镀膜箱的外侧。

使用时，将固定板从换料箱的顶部放入换料箱的内部中层，三号电动推杆推动两组连接块向两侧的换料箱内部中层移动，连接块进入滑槽的竖直边内部卡合固定，将固定板拉至镀膜箱内部，一号电机带动安装盒翻转，使两组固定板竖直方向正对顶部及底部的极板放置，一号电动推杆推动活动杆向上移动，在活动杆球形端部的支撑下密封门可对出料口进行密封，此时可进行镀膜，镀膜结束后，安装盒带动固定板翻转至水平放置，一号电动推杆带动活动杆向下移动，密封门打开，三号电动推杆带动两组固定板向换料箱内部移动，二号电动推杆推动自带的推板推向固定板，连接块沿滑槽的水平边内部滑动并与固定板脱离，固定板从换料箱的一端推出，此时换上新的装有靶件的固定板继续进行镀膜。

在一个优选地实施方式中，所述镀膜箱内部顶端和底端均固定设有极板，且极板与固定板之间对应设置，便于形成阴极板。

在一个优选地实施方式中，所述极板一侧设有进气管，且极板另一侧设有抽气管，便于输入反应气体及抽真空。

在一个优选地实施方式中，所述固定板呈半球形设置，且固定板与三号电动推杆之间通过连接板、连接块及滑槽连接，所述安装盒一端通过连接轴连接外部一号电机，且一号电机固定安装于镀膜箱内部一端，便于固定板的翻转。

在一个优选地实施方式中，所述二号电动推杆的端部固定设有推板，且推板与出料口之间对应设置，便于将固定板推出。

在一个优选地实施方式中，所述活动杆为水平方向设置，且活动杆靠近密封门的端部为球形设置，便于支撑密封门。

在一个优选地实施方式中，在水平方向上所述连接块和滑槽均呈H形设置，且滑槽竖直方向呈L形设置，便于连接块与滑槽的卡合。