[实用新型]一种超小型全固态266nm脉冲激光器

说明书

本实用新型涉及一种超小型全固态266nm脉冲激光器，包括依次排列构成光路的泵浦源、光学耦合系统、自倍频晶体、饱和吸收体、输出镜和BBO倍频晶体；泵浦源发出的波长为808.5nm的激光；光学耦合系统将泵浦源发出的激光耦合至自倍频晶体上；自倍频晶体为Nd:YCOB晶体或Nd:GdCOB晶体,并且前端面镀808nm高透膜和1064nm及532nm高反膜，后端面镀1064nm及532nm减反膜；输出镜镀1064nm高反膜及532nm高透膜；BBO倍频晶体的出光端镀532nm及266nm减反膜。本实用新型的激光器体积小,结构紧凑，通过被动调Q装置实现脉冲激光输出，由于被动调Q是被激光辐射自身启动的，因此不需要高压、快速电光驱动器或射频调制器，使得激光器的结构设计简单、生产成本大大降低,同时也简化了加工和装配环节,提高了生产效率。

技术领域

本实用新型涉及激光器技术领域，尤其涉及一种超小型全固态266nm脉冲激光器。

背景技术

266nm脉冲激光器由于具有波长短、能量集中、分辨力高等特点而被广泛用于工业零部件加工、微电子学、光谱分析和医疗等领域。产生266nm脉冲激光器输出通常是采用声光调制的方式实现脉冲输出，但是采用声光调Q，使激光器的设计复杂、体积大、稳定性差且成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种超小型全固态266nm脉冲激光器

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种超小型全固态266nm脉冲激光器，包括依次排列构成光路的泵浦源、光学耦合系统、自倍频晶体、饱和吸收体、输出镜和BBO倍频晶体；

所述泵浦源用于发出的波长为808.5nm的激光，与所述自倍频晶体的吸收峰相匹配；所述光学耦合系统用于将所述泵浦源发出的激光耦合至所述自倍频晶体上；所述自倍频晶体为Nd:YCOB晶体或Nd:GdCOB晶体,并且前端面镀808nm高透膜和1064nm及532nm高反膜，后端面镀1064nm及532nm减反膜；所述输出镜镀1064nm高反膜及532nm高透膜；所述BBO倍频晶体的出光端镀532nm及266nm减反膜。

进一步，所述自倍频晶体、饱和吸收体及BBO倍频晶体的侧面包裹铟膜。

进一步，所述光学耦合系统采用非球面透镜。

进一步，所述自倍频晶体的晶体长度为10mm，切割方向均为沿1064nm倍频相位匹配方向。

进一步，所述饱和吸收体的晶体长度为2mm，初始透过率为50％。

进一步，所述输出镜为平凹镜，凹面的曲率半径为50mm。

进一步，所述BBO倍频晶体的晶体长度为3mm。

进一步，还包括紫铜散热装置，所述泵浦源、光学耦合系统、自倍频晶体、饱和吸收体、输出镜和BBO倍频晶体依次排列在所述紫铜散热装置的上表面。

进一步，还包括连接在所述紫铜散热装置下部的制冷器。

进一步，还包括连接在所述制冷器下部的散热铝板。

本实用新型的激光器体积小,结构紧凑，通过被动调Q装置实现脉冲激光输出，由于被动调Q是被激光辐射自身启动的，因此不需要高压、快速电光驱动器或射频调制器，使得激光器的结构设计简单、生产成本大大降低,同时也简化了加工和装配环节,提高了生产效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种超小型全固态266nm脉冲激光器的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种超小型全固态266nm脉冲激光器三维结构图。

具体实施方式