[实用新型]悬吊式储存匣置放设备及其承载框架

说明书

本实用新型公开一种悬吊式储存匣置放设备及其承载框架，所述承载框架用来悬吊于铺设有一运输轨道的一天花板。所述承载框架包括多个预定位件、多个直立杆、以及一底座。多个预定位件用来独立可拆解地固定于所述天花板并分别位于所述运输轨道相反两侧的一预定位置上。多个直立杆的顶端部分别可拆解地固定于多个所述预定位件。所述底座安装于多个所述直立杆的底端部，并且所述底座用来供所述运输轨道传送的一晶圆盒进行置放。据此，通过多个预定位件先行逐一固定于天花板的预定位置，并且上述承载框架的其余部位能够通过多个直立杆的顶端部一次性直接对位且固定于上述多个预定位件而被安装至天花板，有效地节省承载框架的安装时程。

技术领域

本实用新型涉及一种悬吊式置放设备，特别是一种悬吊式储存匣置放设备及其承载框架。

背景技术

现有悬吊式储存匣置放设备的承载框架皆是同时将多个直立杆直接装设于天花板上；也就是说，多个所述直立杆必须由多位相关人员同步完成对位及锁固作业。据此，在现有悬吊式储存匣置放设备的承载框架进行安装的过程中，如果遇到晶圆盒运行通过上述承载框架时，则所述承载框架的安装作业必须终止，并等待晶圆盒运行通过之后，在重新进行承载框架的安装作业。

实用新型内容

本实用新型实施例在于提供一种悬吊式储存匣置放设备及其承载框架，其能有效地改善现有悬吊式储存匣置放设备及其承载框架所可能产生的缺陷。

本实用新型实施例公开一种悬吊式储存匣置放设备，用来悬吊于铺设有一运输轨道的一天花板，所述悬吊式储存匣置放设备包括：一承载框架，包含有：多个预定位件，用来独立可拆解地固定于所述天花板并分别位于所述运输轨道相反两侧的一预定位置上；多个直立杆，其顶端部分别可拆解地固定于多个所述预定位件，并能区分两个第一直立杆与至少一个第二直立杆；及一底座，安装于多个所述直立杆的底端部，并且所述底座用来供于所述运输轨道传送的一晶圆盒进行置放；一喷气模块，安装于所述承载框架，并包含有：多个气嘴，设置于所述底座；及多条气流管路，分别连接于多个所述气嘴，多条所述气流管路的一端邻近于两个所述第一直立杆并且各定义为一组接端部，每条所述气流管路的另一端用来连接至一气流供应装置；以及一电控模块，设置于所述承载框架上，所述电控模块包含有多个监控组件及相连于至少一个所述监控组件的多个气流接头；其中，多条所述气流接头连接于多条所述气流管路的所述组接端部。

优选地，每个所述预定位件包含有一管体、自所述管体延伸的两个片体及多个螺丝；在每个所述预定位件中，多个所述螺丝的其中两个所述螺丝穿过两个所述片体用来固定于所述天花板、并且多个所述螺丝的其中另一个所述螺丝穿过所述管体与相对应的所述直立杆的所述顶端部而彼此固定。

优选地，所述承载框架包含有多个斜向支撑杆，并且多个所述斜向支撑杆的下端部分别安装于多个所述直立杆，多个所述斜向支撑杆的上端部用来固定于所述天花板并分别位于所述运输轨道的相反两侧；其中，每个所述斜向支撑杆与相对应的所述直立杆相夹有介于15度～80度的一可调式夹角。

优选地，所述底座包含有：多个底横杆，相连于多个所述直立杆的所述底端部，以共同围绕成环形；一底盘，安装于多个所述底横杆；及一承载盘，安装于所述多个所述底横杆且与所述底盘间隔有一距离，并且所述承载盘用来供所述晶圆盒进行置放；其中，多个所述气嘴位于所述底盘与所述承载盘之间，且每个所述气嘴的局部裸露于所述承载盘之外，每条所述气流管路沿经所述底盘与所述承载盘之间的空间连接至相对应的所述气嘴。

优选地，多个所述气嘴区分为多个第一气嘴与多个第二气嘴，多条所述气流管路区分为连接于多个所述第一气嘴的多条第一气流管路以及连接于多个所述第二气嘴的多条第二气流管路；其中，多个所述第一气嘴与多个所述第二气嘴用来连接不同类型的两种晶圆盒。

优选地，多条所述第一气流管路的其中一条以及多条所述第二气流管路的其中一条沿着至少一个所述第二直立杆延伸至所述天花板。