[实用新型]悬吊式储存匣置放设备及其可携式电控箱

说明书

本实用新型公开一种悬吊式储存匣置放设备及其可携式电控箱，所述可携式电控箱，用来设置于悬吊在天花板且能承接晶圆盒的一承载框架。所述可携式电控箱包含一箱体、多个监控组件、以及多个连通管路。所述箱体用来可拆解地固定于所述承载框架；所述多个监控组件设置于所述箱体内；所述多个连通管路相连于至少一个所述监控组件。其中，多条所述连通管路皆至少局部穿出所述箱体、以用来可拆解地连接于设置在所述承载框架的多条气流管路。据此，在可携式电控箱需要进行检修时，可以直接将待检修的可携式电控箱拆离进行检修，并安装另一个无需检修的可携式电控箱，以提升检修的便利性，并且避免影响到悬吊式储存匣置放设备的运作。

技术领域

本实用新型涉及一种悬吊式置放设备，特别是一种悬吊式储存匣置放设备及其可携式电控箱。

背景技术

现有悬吊式储存匣置放设备的电控模块皆是直接装设于承载框架上；也就是，所述电控模块难以自承载框架拆除。据此，在现有悬吊式储存匣置放设备的电控模块需要检修时，相关人员必须采在梯子上来对电控模块进行检修，这不但造成检修上的困难，并且还会影响到现有悬吊式储存匣置放设备的运作。

实用新型内容

本实用新型实施例在于提供一种悬吊式储存匣置放设备及其可携式电控箱，其能有效地改善现有悬吊式储存匣置放设备及其电控模块所可能产生的缺陷。

本实用新型实施例公开一种悬吊式储存匣置放设备，用来悬吊于铺设有一运输轨道的一天花板，所述悬吊式储存匣置放设备包括：一承载框架，包含有：多个直立杆，其顶端部用来对应所述天花板安装、并分别位于所述运输轨道的相反两侧，区分为两个第一直立杆与至少一个第二直立杆；及一底座，安装于多个所述直立杆的底端部，并且所述底座用来供所述运输轨道传送的一晶圆盒进行置放；一喷气模块，安装于所述承载框架，并包含有：多个气嘴，设置于所述底座；及多条气流管路，分别连接于多个所述气嘴，多条所述气流管路的一端邻近于两个所述第一直立杆并且各定义为一组接端部，而每条所述气流管路的另一端用来连接至一气流供应装置；以及一可携式电控箱，设置于所述底座上且位于两个所述第一直立杆之间；其中，所述可携式电控箱包含有：一箱体，可拆解地固定于所述底座及两个所述第一直立杆；多个监控组件，设置于所述箱体内；及多个连通管路，相连于至少一个所述监控组件；其中，多条所述连通管路皆至少局部穿出所述箱体、并可拆解地连接于多条所述气流管路的所述组接端部。

优选地，所述可携式电控箱包含有多个固定支架，并且所述箱体通过多个所述固定支架而分别锁固于所述底座及两个所述第一直立杆。

优选地，所述底座包含有：多个底横杆，相连于多个所述直立杆的所述底端部，以共同围绕成环形；一底盘，安装于多个所述底横杆；及一承载盘，安装于多个所述底横杆且与所述底盘间隔有一距离，并且所述承载盘用来供所述晶圆盒进行置放；其中，多个所述气嘴位于所述底盘与所述承载盘之间，且每个所述气嘴的局部裸露于所述承载盘之外，每条所述气流管路沿经所述底盘与所述承载盘之间的空间连接至相对应的所述气嘴。

优选地，多个所述气嘴区分为多个第一气嘴与多个第二气嘴，多条所述气流管路区分为连接于多个所述第一气嘴的多条第一气流管路以及连接于多个所述第二气嘴的多条第二气流管路；其中，多个所述第一气嘴与多个所述第二气嘴用来连接不同类型的两种晶圆盒。

优选地，多条所述第一气流管路的其中一条以及多条所述第二气流管路的其中一条沿着至少一个所述第二直立杆延伸至所述天花板。

优选地，至少一个所述第二直立杆沿其长度方向形成有一沟槽，并且延伸至所述天花板的所述第一气流管路与所述第二气流管路沿着至少一个所述第二直立杆的所述沟槽。

优选地，所述承载框架包含有多个限位横杆，多个所述限位横杆与所述底座间隔设置且相连于多个所述直立杆，并且两个所述第一直立杆之间未有任何所述限位横杆连接。