[实用新型]全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置

说明书

本实用新型属于全氢燃气罩式退火炉技术领域，尤其为全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，包括装置本体，装置本体的左右两侧设置有升降装置，装置本体的底部安装有底座，底座的固定连接有固定柱，固定柱远离底座的一端固定连接有垫脚，升降装置的底部设置有安装板，安装板的顶部两端设置有竖板，竖板远离装置本体的一端贯穿有第一转杆。本实用新型通过设置的升降装置，可以调节工作人员或者检修人员的工作高度，工人在踏板上便于进行操作工作，能够有效的提高工作效率，通过设置的液压缸、伸缩杆、滚动体的相互作用，可以对装置本体进行小范围的转移，达到提高其使用的灵活性，便于移动。

技术领域

本实用新型涉及全氢燃气罩式退火炉技术领域，具体为全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。近几年来，随着市场对黑色金属和有色金属光亮退火的板材、带材需求量的不断增加，而这些板材、带材在生产工序中常以成卷的形式传递，其热处理长期以来主要依赖罩式退火炉，目前最先进的技术是采用全氢燃气罩式退火炉进行处理，在进行退火的过程中需通入氢气对材料进行保护，使其不被氧化，表面光亮，而且提高了传热效率，从而提高了退火能力，也确保了炉温均匀性，保证了钢卷的力学性能。但是这种全氢燃气罩式退火炉在使用时存在以下问题：

1、一般的全氢燃气罩式退火炉都是比较大型的圆柱形柱体，重量比较大，在移动时通常比较困难，同时在进行维修和安装时需要对全氢燃气罩式退火炉进行转移，灵活性比较差，使用不方便；

2、在安装和检修全氢燃气罩式退火炉的表面管道和线路时，需要借助大型的升降机进行检修人员提升，在使用时往往会造成人力物力的浪费，而且不能根据工人的身高调节其与操作台面之间的距离，实用性差。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，解决了般的全氢燃气罩式退火炉都是比较大型的圆柱形柱体，重量比较大，在移动时通常比较困难，同时在进行维修和安装时需要对全氢燃气罩式退火炉进行转移，灵活性比较差，使用不方便和在安装和检修全氢燃气罩式退火炉的表面管道和线路时，需要借助大型的升降机进行检修人员提升，在使用时往往会造成人力物力的浪费，而且不能根据工人的身高调节其与操作台面之间的距离，实用性差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，包括装置本体，所述装置本体的左右两侧设置有升降装置，所述装置本体的底部安装有底座，所述底座的固定连接有固定柱，所述固定柱远离底座的一端固定连接有垫脚，所述升降装置的底部设置有安装板，所述安装板的顶部两端设置有竖板，所述竖板远离装置本体的一端贯穿有第一转杆，所述第一转杆远离竖板的一端固定连接有摇把，所述第一转杆远离摇把的一端固定套设有第一齿轮，所述第一齿轮的下方啮合连接有第二齿轮，所述第二齿轮的中心固定穿设有第二转杆，所述第二转杆远离第二齿轮的一端固定套设有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮上啮合连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮的中心固定穿设有螺纹杆，所述螺纹杆远离安装板的一端设置有升降板，所述升降板的左右两端分别与两块竖板的侧壁滑动连接，所述升降板的顶部固定连接有立柱，所述立柱远离升降板的一端设置踏板，所述底座的下端靠近垫脚的一侧设置滚动体，所述滚动体的上端设这样液压缸，所述液压缸的内侧贯穿设置有伸缩杆。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述固定柱通过螺栓与底座的底部固定连接，所述垫脚通过焊接与固定柱的一端固定。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述垫脚的数量为四组，且四组垫脚呈圆形分布在底座的底部。