[实用新型]一种相变材料化学机械抛光设备

权利要求书

1.一种相变材料化学机械抛光设备，包括工作台（1）、电机（3）、第二磨砂轮（9）、抽泵（15）和电动推杆（21），其特征在于：所述工作台（1）的顶表面固定连接有支撑块（2），且支撑块（2）的上表面固定连接有电机（3），所述电机（3）的输出端安装有固定柱（4），且固定柱（4）贯穿支撑块（2）的外表面，并且固定柱（4）的底表面固定连接有第一磨砂轮（5），所述固定柱（4）的外表面固定连接有第一锥形齿轮（6），且第一锥形齿轮（6）位于支撑块（2）的内部，所述第一锥形齿轮（6）的下表面连接有第二锥形齿轮（7），且第二锥形齿轮（7）的中心点固定连接有伸缩杆（8），所述伸缩杆（8）贯穿支撑块（2）的内表面，且伸缩杆（8）的末端固定连接有第二磨砂轮（9），所述工作台（1）的左表面被旋转手轮（10）贯穿，且旋转手轮（10）的末端固定连接有螺杆（11），所述螺杆（11）的外表面连接有圆柱块（12），且圆柱块（12）的顶表面固定连接有支撑杆（13），所述支撑杆（13）贯穿工作台（1）的顶表面，且支撑杆（13）同时贯穿伸缩杆（8）的外表面，所述工作台（1）的内部开设有抛光液储存池（14），且抛光液储存池（14）的顶端内表面固定连接有过滤板（19），所述抛光液储存池（14）的底端内表面固定设置有抽泵（15），且抽泵（15）的输出端连接有输送管（16），所述输送管（16）的末端固定连接在喷嘴（17）的输入端，且喷嘴（17）固定设置在支撑块（2）的内表面顶端，所述工作台（1）的前表面固定设置有固定块（20），且固定块（20）的外表面固定设置有电动推杆（21），并且电动推杆（21）的末端固定连接在方形块（22）的外表面，所述方形块（22）的前表面被螺栓手轮（23）贯穿，且螺栓手轮（23）的末端连接有夹持块（24），并且夹持块（24）贯穿方形块（22）的顶表面，所述方形块（22）的外表面固定连接有凸块（25），且凸块（25）与连接块（18）相互连接，并且连接块（18）固定设置在支撑块（2）的内表面。

2.根据权利要求1所述的一种相变材料化学机械抛光设备，其特征在于：所述固定柱（4）与支撑块（2）构成转动结构，且固定柱（4）上的第一锥形齿轮（6）与第二锥形齿轮（7）为啮合连接。

3.根据权利要求1所述的一种相变材料化学机械抛光设备，其特征在于：所述伸缩杆（8）分别与支撑杆（13）和支撑块（2）构成转动结构，且伸缩杆（8）上的第二磨砂轮（9）与第一磨砂轮（5）正视面相互垂直。

4.根据权利要求1所述的一种相变材料化学机械抛光设备，其特征在于：所述螺杆（11）关于工作台（1）的纵向中心线对称分布，且螺杆（11）与圆柱块（12）为啮合连接，并且圆柱块（12）与工作台（1）构成滑动结构。

5.根据权利要求1所述的一种相变材料化学机械抛光设备，其特征在于：所述螺栓手轮（23）与方形块（22）为螺纹连接，且螺栓手轮（23）与夹持块（24）构成转动结构，并且夹持块（24）与方形块（22）构成滑动结构。

6.根据权利要求1所述的一种相变材料化学机械抛光设备，其特征在于：所述凸块（25）和连接块（18）关于方形块（22）的纵向中心线对称分布，且凸块（25）与连接块（18）构成滑动结构。