[实用新型]一种激光双面切割装置

说明书

本实用新型公开了一种激光双面切割装置，包括激光器：向切割头射出激光；切割头：内置光学元件；接收激光器射出的激光，激光经过光学元件，被分成两束聚焦位置不同的出射光；反射装置：与切割头出射端相对，并且固定在间距调节机构上，通过间距调节机构调节反射装置与切割头之间间距。本实用新型通过设置位置可调的反射装置，扩展了切割范围，解决了因光学元件待切割材料厚度受限的问题，有利于降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及一种激光双面切割装置，属于激光切割领域。

背景技术

激光光束的高强度、方向性好、能被聚焦至微米量级的特性使得其在高精密加工领域具有明显优势，如晶圆、玻璃等材料的切割。为了提高切割效率，降低切割过程中热影响区域过大的问题，切割过程中可采用双面切割技术。现有的双面切割技术为：切割头内的光学元件直接将射入激光光束聚焦于材料的上下表面进行切割，所用光学元件所产生的双焦点之间的间距固定，只能切割特定厚度的材料，即一种光学元件只能切割一种厚度的材料，若切割不同厚度的材料，需要定制对应的光学元件，提高了生产成本。

实用新型内容

本实用新型提供了一种激光双面切割装置，解决了背景技术中披露的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种激光双面切割装置，包括，

激光器：向切割头射出激光；

切割头：内置光学元件；接收激光器射出的激光，激光经过光学元件，被分成两束聚焦位置不同的出射光；

反射装置：与切割头出射端相对，并且固定在间距调节机构上，通过间距调节机构调节反射装置与切割头之间间距。

切割头和反射装置分别位于待切割材料两侧，聚焦位置远的出射光透过待切割材料被反射装置反射。

反射装置为镀有激光器所发射激光对应反射膜层的平面装置。

经过光学元件的两束出射光同轴。

光学元件为胶合双聚焦透镜。

光学元件为沿激光传播方向依次设置的衍射光学镜和聚焦镜。

光学元件为透镜组。

本实用新型所达到的有益效果：本实用新型通过设置位置可调的反射装置，扩展了切割范围，解决了因光学元件待切割材料厚度受限的问题，有利于降低生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为胶合双聚焦透镜构成的光学元件示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

如图1所示，一种激光双面切割装置，包括激光器1、切割头2和反射装置5。激光器1用以向切割头2射出激光。

切割头2用以接收激光切割待切割材料4，切割头2包括沿激光传播方向依次设置的反射镜和实现聚焦的光学元件。反射镜用以将激光器1射入的激光反射至光学元件，反射镜的角度根据入射激光的角度而定。光学元件用以将入射激光分成两束同轴且聚焦位置不同的出射光。

光学元件的结构有以下几种：1）如图2所示光学元件为胶合双聚焦透镜3；2）光学元件为沿激光传播方向依次设置的衍射光学镜和聚焦镜组合；3）光学元件为透镜组，一般设置两块即可。上述三种结构中，最优的是第一种结构，即胶合双聚焦透镜，在达到相同目的的前提下，其成本相较于其他两种更低。