[实用新型]一种插拔式高真空蒸发源

权利要求书

1.一种插拔式高真空蒸发源，其特征在于：包括插拔式底座和蒸发源主体，所述蒸发源主体与插拔式底座插拔式连接，所述蒸发源主体设置有加热机构，所述加热机构下端设置有测温机构，所述插拔式高真空蒸发源还包括屏蔽机构，所述屏蔽机构开合式置于蒸发源主体进料口的上方。

2.根据权利要求1所述的一种插拔式高真空蒸发源，其特征在于：所述插拔式底座包括蒸发源支架（6）和陶瓷底座B（5），所述陶瓷底座B（5）安装在蒸发源支架（6）上，所述蒸发源主体还设置有陶瓷底座A（4），所述陶瓷底座A（4）上端安装有底座（3），所述底座（3）上端安装有外罩（2），所述陶瓷底座A（4）和陶瓷底座B（5）通过定位销（18）定位，所述定位销（18）上端固定在底座（3）上，下端置于定位套（19）中，所述定位套（19）与陶瓷底座B（5）插拔式连接。

3.根据权利要求1所述的一种插拔式高真空蒸发源，其特征在于：所述屏蔽机构包括驱动装置、挡板（7）和挡板固定架（15），所述驱动装置驱动连接挡板（7），所述挡板（7）开合式置于蒸发源主体进料口的上方，所述挡板（7）安装在挡板固定架（15）上，所述挡板固定架（15）安装在蒸发源支架（6）上。

4.根据权利要求3所述的一种插拔式高真空蒸发源，其特征在于：所述驱动装置包括驱动杆（12），所述驱动杆（12）通过导向定位块（14）固定在挡板固定架（15）中间，所述驱动杆（12）下端穿过蒸发源支架（6），所述驱动杆（12）上部安装有压簧（13），所述驱动杆（12）通过连接轴C（11）与连接杆（9）的一端连接，所述连接杆（9）的另一端通过连接轴A（8）与挡板（7）连接，所述连接轴A（8）上安装有定位套筒B（17）。

5.根据权利要求3所述的一种插拔式高真空蒸发源，其特征在于：所述挡板（7）通过连接轴B（10）安装在挡板固定架（15）上，所述连接轴B（10）上靠近挡板（7）内部安装有两个定位套筒A（16）。

6.根据权利要求1所述的一种插拔式高真空蒸发源，其特征在于：所述加热机构包括坩埚（1）、加热组件和陶瓷上盖（20），所述坩埚（1）上端套设在陶瓷上盖（20）中并与其固定连接，所述加热组件设置在坩埚（1）周围。

7.根据权利要求6所述的一种插拔式高真空蒸发源，其特征在于：所述加热组件包括石英棒（22），所述石英棒（22）中心设有连接螺杆（21），所述连接螺杆（21）上端固定在陶瓷上盖（20）上，下端穿过下支撑板（25）并与其固定连接，所述下支撑板（25）安装在底座（3）上，所述石英棒（22）上缠绕有加热丝，所述加热丝与电极接线杆（32）连接，所述电极接线杆（32）一端固定在电极座（31）上，另一端与接头B（33）连接，所述接头B（33）与陶瓷底座B（5）插拔式连接，所述电极座（31）安装在陶瓷绝缘柱（27）上，所述陶瓷绝缘柱（27）安装在底座（3）上。

8.根据权利要求7所述的一种插拔式高真空蒸发源，其特征在于：所述石英棒（22）有三个，所述三个石英棒（22）均匀分布在坩埚（1）周围，所述三个石英棒（22）上分别设有等距凹槽，所述加热丝均匀缠绕在凹槽上。

9.根据权利要求2所述的一种插拔式高真空蒸发源，其特征在于：所述测温机构包括热电偶，所述热电偶穿过双芯陶瓷管（23），所述热电偶一端与坩埚（1）底部接触，另一端与热电偶接线杆（28）连接，所述热电偶接线杆（28）一端固定在热电偶座（26）上，另一端与接头A（30）连接，所述接头A（30）与所述陶瓷底座B（5）插拔式连接，所述热电偶接线杆（28）外部套设有接头套A（29），所述热电偶座（26）安装在陶瓷绝缘柱（27）上，所述陶瓷绝缘柱（27）安装在底座（3）上。

10.根据权利要求9所述的一种插拔式高真空蒸发源，其特征在于：所述双芯陶瓷管（23）嵌套在热电偶导向杆（24）中心，所述双芯陶瓷管（23）与坩埚（1）底部接触，所述热电偶导向杆（24）穿过下支撑板（25）固定在底座（3）上，所述热电偶导向杆（24）下端设有凹槽，所述凹槽内安装有压簧。