[实用新型]一种可实现精确行程的真空室上盖提升机构

权利要求书

1.一种可实现精确行程的真空室上盖提升机构，包括升降底座(1)，其特征在于：所述升降底座(1)的上端通过螺栓固定连接有升降支架(2)，所述升降支架(2)的上端内部四个角均固定连接有内嵌螺母(12)，所述升降支架(2)的上端固定连接有升降顶板(6)，所述升降支架(2)的前端和后端的下部均固定连接有挤压支板(10)，所述挤压支板(10)的下端固定连接在升降底座(1)的上端，所述升降底座(1)的下端固定连接有气缸(3)，所述气缸(3)的输出轴贯穿升降底座(1)并活动连接有线性导向轴(7)，所述线性导向轴(7)的外表面中部固定连接有提升装置(4)，所述线性导向轴(7)的外表面上部和中部均固定连接有固定座(8)，所述固定座(8)的左端均设置有移动限位机构(5)。

2.根据权利要求1所述的一种可实现精确行程的真空室上盖提升机构，其特征在于：所述升降支架(2)的前端和后端开设有两个螺母移动槽(11)，所述螺母移动槽(11)的内壁上均滑动连接有备用螺母(9)，所述气缸(3)的输出端轴承连接球头，且球头位于线性导向轴(7)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种可实现精确行程的真空室上盖提升机构，其特征在于：所述提升装置(4)主要结构有提升连接板(43)，所述提升连接板(43)的左端上部和下部均固定连接有导向轴支座(41)，所述导向轴支座(41)的前端均开设有两个螺栓孔(42)，所述导向轴支座(41)的内部穿插固定连接在线性导向轴(7)的外表面中部，所述提升连接板(43)的右端中部固定连接有横板(44)，所述横板(44)的上端前部和后部均焊接有立板(45)，所述横板(44)的下端固定连接有上法兰(46)。

4.根据权利要求3所述的一种可实现精确行程的真空室上盖提升机构，其特征在于：所述横板(44)的表面开设有四个定位孔(47)，所述上法兰(46)通过螺栓固定连接在横板(44)的下端。

5.根据权利要求1所述的一种可实现精确行程的真空室上盖提升机构，其特征在于：所述移动限位机构(5)主要结构有限位板(51)，所述限位板(51)的内部滑动连接有内嵌条(53)，所述内嵌条(53)的前端固定连接有支座连接板(52)，所述支座连接板(52)的后端固定连接在固定座(8)的左端，所述固定座(8)的内部穿插连接有四个固定螺栓(55)，所述限位板(51)的左端固定连接在升降支架(2)的表面。

6.根据权利要求5所述的一种可实现精确行程的真空室上盖提升机构，其特征在于：所述内嵌条(53)的内部开设有两个螺纹孔(54)，所述固定螺栓(55)的左端分别贯穿固定座(8)和支座连接板(52)并螺纹连接在螺纹孔内(54)，所述内嵌条(53)和限位板(51)设置有两个，且两个内嵌条(53)和限位板(51)均以固定座(8)的中心前后对称分布。