[实用新型]一种半导体用夹持衬垫

权利要求书

1.一种半导体用夹持衬垫，其特征在于：包括防护机构(1)、定位机构(2)、弹簧杆(3)和支撑机构(4)，

所述支撑机构(4)的内端面四角均固定连接有用于弹性支撑的弹簧杆(3)，且所述支撑机构(4)包括固定垫板(401)、卡槽(402)、固定槽(403)和连接槽(404)，所述固定垫板(401)的顶端面中心处开设有卡槽(402)，且位于所述固定垫板(401)的顶端面中心处开设有卡槽(402)，所述固定垫板(401)的内端面开设有用于限位的连接槽(404)，且位于所述连接槽(404)的底端面四角均开设有用于定位的固定槽(403)，

所述支撑机构(4)通过所述弹簧杆(3)弹性卡接有定位机构(2)，且所述定位机构(2)包括卡接板(201)、定位轴(202)和限位板(203)，所述卡接板(201)的底端面固定连接有限位板(203)，且所述卡接板(201)的上端面四角均固定连接有用于卡接的定位轴(202)，

所述定位机构(2)的上端面弹性固定卡接有防护机构(1)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体用夹持衬垫，其特征在于：所述防护机构(1)包括橡胶垫(101)、防滑纹(102)、支撑板(103)和限位槽(104)，所述橡胶垫(101)的上端面开设有用于增大摩擦的防滑纹(102)，且位于所述橡胶垫(101)的底端面四角均固定连接有支撑板(103)，所述支撑板(103)的内端面开设有限位槽(104)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体用夹持衬垫，其特征在于：所述弹簧杆(3)包括用于支撑的伸缩杆、对称固定在伸缩杆外端面的连接卡板以及用于两组连接卡板的弹簧。

4.根据权利要求1所述的一种半导体用夹持衬垫，其特征在于：所述固定槽(403)与弹簧杆(3)相适配，且所述弹簧杆(3)通过固定槽(403)固定连接在支撑机构(4)的内端面。

5.根据权利要求1所述的一种半导体用夹持衬垫，其特征在于：所述限位板(203)与卡槽(402)相适配，且所述定位机构(2)通过限位板(203)与卡槽(402)相适配滑动连接在支撑机构(4)的顶端面。

6.根据权利要求1或2所述的一种半导体用夹持衬垫，其特征在于：所述防护机构(1)通过限位槽(104)与定位轴(202)活动卡接与定位机构(2)的上端面进行弹性卡接，所述限位槽(104)与定位轴(202)结构相同，且所述限位槽(104)的整体结构为定位轴(202)整体结构的1.2倍。