[实用新型]一种退火装置

权利要求书

1.一种退火装置，其特征在于，所述退火装置包括：

加热组件，所述加热组件内具有炉腔；

回收组件，所述回收组件连接所述加热组件，所述回收组件具有一回收腔，所述回收腔连通所述炉腔；

其中，所述回收组件还包括一冷凝件，所述冷凝件上的冷凝部位于或部分位于所述回收腔中。

2.根据权利要求1所述的退火装置，其特征在于，所述回收组件还包括回收件与密封件，所述回收件内开设有所述回收腔，所述密封件套设在所述冷凝件的表面并与所述回收腔的内壁抵接，以将所述回收腔与外界环境隔绝。

3.根据权利要求2所述的退火装置，其特征在于，所述密封件为弹性塑胶形成的密封圈。

4.根据权利要求2所述的退火装置，其特征在于，所述回收组件还包括连接管，所述连接管的一端连接所述加热组件，另一端连接所述回收件，以将所述回收腔及所述炉腔连通。

5.根据权利要求1所述的退火装置，其特征在于，所述加热组件包括加热件及容置件，所述加热件开设有加热腔，所述容置件全部或部分位于所述加热腔中，所述容置件内开设有所述炉腔。

6.根据权利要求5所述的退火装置，其特征在于，当所述容置件部分位于所述加热腔中时，所述容置件的主体从所述加热腔穿过，所述容置件的两端位于所述加热件外。

7.根据权利要求5或6所述的退火装置，其特征在于，所述容置件内设有样本槽；或，所述容置件内放置有样品装载件，所述样品装载件内设有样本槽。

8.根据权利要求7所述的退火装置，其特征在于，所述加热件的两端分别设有第一开口与第二开口，所述容置件从所述第一开口进入所述加热腔并从所述第二开口穿出所述加热腔。

9.根据权利要求5所述的退火装置，其特征在于，所述容置件为石英管。

10.根据权利要求1所述的退火装置，其特征在于，所述退火装置还包括供气组件，所述供气组件的一端连通所述炉腔，另一端连通所述回收腔。