[实用新型]一种蓝宝石抛光液过滤循环装置

说明书

本实用新型公开了一种蓝宝石抛光液过滤循环装置，包括抛光盘和过滤装置，其特征在于：所述过滤装置包括集液桶、固定机构以及过滤机构，所述过滤机构包括过滤支架环和与支架环相连的过滤网袋，所述过滤机构通过固定机构固定在集液桶上，所述过滤装置通过进液管道与抛光盘相连，所述集液桶侧面设有一排液口，所述排液口上设有出液管道，所述出液管道上设有抽液泵，所述出液管道与抛光盘相连。本实用新型通过固定装置和过滤网袋能够轻易更换，且成本较低，通过过滤网袋过滤时的摆动，结晶不容易堵塞网孔，能够在蓝宝石生产过程中大大降低生产成本，且固定装置易安装拆卸，更换方便。

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石生产领域，具体涉及一种蓝宝石抛光液过滤循环装置。

背景技术

蓝宝石化学机械抛光的主要作用是去除上段(单面研磨)的晶片表面轻微划痕。在超细抛光磨料的作用下，受到一定压力的晶片与抛光垫相互高速旋转运动，借助磨料的机械作用和化学腐蚀作用来进行磨削。循环使用后的抛光液含有大量结晶物、蓝宝石碎片等硬质物，在机械抛光过程中，可能造成晶片的划伤、爆盘等问题。所以抛光浆料的过滤系统就必不可少。专利CN 208287615 U将过滤分为粗滤和细滤两个阶段，有很好的过滤效果。该方案的问题在于，为避免滤网堵塞，该专利采用震动的方式破碎滤网中的大颗粒，但滤出的结晶物杂质也容易因震动破碎而重新回流滤液，因此这种方式实际过滤效果并不理想。相比较于振动过滤，利用颗粒本身的重力完成过滤是一种常见的方法。专利CN 206010831 U中巧妙的利用颗粒物较重易沉淀的特点，经济高效的完成了抛光液中颗粒杂质的过滤，但是在该专利中，沉积于池底的杂质不便及时清理。同样是利用重力过滤，在专利CN207562435 U中，抛光液从过滤装置上部流入，经过装置内部的水平滤网，最后从底部流出。该过滤装置过滤高效，且过滤网可更换。但该装置成本较高，且更换过滤网的开孔在筒体一侧，更换较费力，另外该专利并没有考虑到如何实时观察滤网的堵塞状况这一问题。为了解决上述专利存在的问题，我们发明了一种简易、低成本、高效率的过滤装置。

实用新型内容

发明目的：针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供了蓝宝石抛光液过滤循环装置。

技术方案：实现本实用新型目的的技术解决方案为，一种蓝宝石抛光液过滤循环装置，包括抛光盘和过滤装置，所述过滤装置包括集液桶、固定机构以及过滤机构，所述过滤机构包括过滤支架环和与支架环相连的过滤网袋，所述过滤机构通过固定机构固定在集液桶上，所述过滤装置通过进液管道与抛光盘相连，所述集液桶侧面设有一排液口，所述排液口上设有出液管道，所述出液管道上设有抽液泵，所述出液管道与抛光盘相连。

进一步地，所述固定机构包括防滑凸起圆周以及锥形固定支架，所述锥形固定支架分别与进液管道和过滤支架环相连，所述过滤支架环设在防滑凸起圆周内。所述集液桶上设有桶盖，所述固定机构设在桶盖上。所述锥形固定支架上设有一开孔。

与上述固定机构并列的优选方案为：所述固定机构包括固定支架环和与固定支架环相连的固定手柄，所述固定手柄呈“F”型，通过固定手柄卡合在集液桶的桶身上，所述固定支架环的圆周直径小于过滤支架环圆周直径，过滤支架环套接在固定支架环上。所述固定支架环的圆环直径小于过滤支架圆形环的直径5～10mm。

进一步地，所述过滤网袋采用尼龙制成的过滤网袋，过滤支架环为尼龙支架环；所述过滤支架环与过滤网袋采用热熔连接。所述过滤网袋中的过滤网孔径为70～100目，长*宽为120*80mm～200*120mm；所述过滤支架环圆环直径80～120mm；所述过滤网袋为双层或者多层过滤网。

有益效果：通过本实用新型所构思的上述技术方案，与现有技术相比，具有如下有益的效果：

本实用新型在保证过滤质量的前提下解决了因滤芯易堵塞的问题，进而降低了潜在的因滤芯堵塞而起的，诸晶片划伤，干抛，异常停机甚至爆盘等问题。