[实用新型]一种双组份硅片清洗剂试剂盒有效

专利信息
申请号: 201921864063.6 申请日: 2019-10-30
公开(公告)号: CN211488824U 公开(公告)日: 2020-09-15
发明(设计)人: 王珊珊;董保东;熊震;李飞龙 申请(专利权)人: 洛阳阿特斯光伏科技有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/673
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 巩克栋
地址: 471023 河南*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 双组份 硅片 洗剂 试剂盒
【权利要求书】:

1.一种双组份硅片清洗剂试剂盒,其特征在于,包括盒体,所述盒体设置有隔板(13),将所述盒体分为第一容纳腔(11)和第二容纳腔(12);

所述第一容纳腔(11)内盛放有所述双组份硅片清洗剂的A组分;所述第二容纳腔(12)内盛放有所述双组份硅片清洗剂的B组分。

2.根据权利要求1所述的双组份硅片清洗剂试剂盒,其特征在于,所述第一容纳腔(11)的底部连接有第一出液管道(31),所述第一出液管道(31)上依次设置有第一阀体(311)、第一量杯(312)和第二阀体(313),所述第一阀体(311)位于靠近所述第一容纳腔(11)的一侧;

所述第二容纳腔(12)的底部连接有第二出液管道(32),所述第二出液管道(32)上依次设置有第三阀体(321)、第二量杯(322)和第四阀体(323),所述第三阀体(321)位于靠近所述第二容纳腔(12)的一侧。

3.根据权利要求2所述的双组份硅片清洗剂试剂盒,其特征在于,所述第一量杯(312)和所述第二量杯(322)均为透明材质。

4.根据权利要求2所述的双组份硅片清洗剂试剂盒,其特征在于,所述第一量杯(312)和所述第二量杯(322)的最大量程均为5L。

5.根据权利要求1所述的双组份硅片清洗剂试剂盒,其特征在于,还包括第三出液通道(33),第一出液管道(31)和第二出液管道(32)远离盒体的一端均连接于第三出液通道(33)。

6.根据权利要求1所述的双组份硅片清洗剂试剂盒,其特征在于,所述盒体的顶部设置有盒盖。

7.根据权利要求6所述的双组份硅片清洗剂试剂盒,其特征在于,所述第一容纳腔(11)的顶部设置有第一盒盖(21),所述第二容纳腔(12)的顶部设置有第二盒盖(22)。

8.根据权利要求7所述的双组份硅片清洗剂试剂盒,其特征在于,所述第一盒盖(21)和第二盒盖(22)上均设有通孔。

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