[实用新型]一种基于表面等离激元共振的光电探测器

权利要求书

1.一种基于表面等离激元共振的光电探测器，其特征在于：

包括栅极（1-7），所述栅极（1-7）上方向上依次设有绝缘体介质层（2）和半导体层（3），半导体层（3）在水平方向上分布有若干个，所述绝缘体介质层（2）上侧连接有分别位于半导体层（3）两侧的源极（1-2）和漏极（1-6）；

各半导体层（3）上侧还设有源极电极（1-4），相邻源极电极（1-4）之间设有漏极电极（1-3），源极电极（1-4）与漏极电极（1-3）形成亚波长光栅结构，各源极电极（1-4）皆连接于源极（1-2），各漏极电极（1-3）皆连接于漏极（1-6）。

2.根据权利要求1所述的一种基于表面等离激元共振的光电探测器，其特征在于：栅极（1-7）为金属铝层。

3.根据权利要求1所述的一种基于表面等离激元共振的光电探测器，其特征在于：绝缘体介质层（2）为二氧化硅绝缘体介质层。

4.根据权利要求3所述的一种基于表面等离激元共振的光电探测器，其特征在于：绝缘体介质层（2）设有100nm厚。

5.根据权利要求1所述的一种基于表面等离激元共振的光电探测器，其特征在于：半导体层（3）为n型半导体层（3）。

6.根据权利要求1所述的一种基于表面等离激元共振的光电探测器，其特征在于：亚波长光栅结构周期为400nm，占空比为0.25。