[实用新型]一种晶体生长用温度梯度调节装置

权利要求书

1.一种晶体生长用温度梯度调节装置，其特征在于，包括旋转接头、连接座和套设有籽晶杆外壳的籽晶杆，所述连接座的一端与所述籽晶杆外壳上的第一法兰螺栓连接，另一端通过第二法兰与所述旋转接头连接；

所述籽晶杆外壳上设置有第一进水孔，所述籽晶杆外壳内装有隔水套，所述隔水套设置在所述籽晶杆的外围，且所述籽晶杆贯穿所述隔水套和所述籽晶杆外壳，所述籽晶杆的内部插入钼管，所述隔水套上设置有第一出水孔，所述钼管上设置有第一进气孔，所述籽晶杆上设置有第一出气孔；

所述装置还包括设置有第二进气孔、第二进水孔、第二出气孔和第二出水孔的冷却盘管，所述第二进气孔和第二进水孔设置在冷却盘管的同一侧，所述第二出气孔和第二出水孔设置在冷却盘管的另一侧，所述冷却盘管嵌套在所述连接座上；

所述装置还包括第一气路管、第二气路管、第三气路管、第一水路管、第二水路管、第三水路管和第四水路管，所述第一气路管一端连接在所述旋转接头上，另一端与所述第一进气孔连接，所述第二气路管一端连接在所述第一出气孔上，另一端连接在所述第二进气孔上，所述第三气路管一端连接在所述第二出气孔上，另一端连接在所述旋转接头上，所述第一水路管一端连接在所述旋转接头上，另一端连接在所述第一进水孔上，所述第二水路管一端连接在所述第一出水孔上，另一端连接在所述旋转接头上，所述第三水路管一端连接在所述旋转接头上，另一端连接在第二进水孔上，所述第四水路管一端连接在所述第二出水孔上，另一端连接在所述旋转接头上。

2.根据权利要求1所述的晶体生长用温度梯度调节装置，其特征在于，旋转接头为六通路液压旋转接头，所述六通路液压旋转接头上设置有若干宝塔接头以及若干双卡套螺纹直通接头。

3.根据权利要求1所述的晶体生长用温度梯度调节装置，其特征在于，所述装置还包括伺服电机、减速机和联轴器，所述旋转接头远离所述连接座的一端与所述联轴器连接，所述伺服电机安装在所述减速机上，所述减速机连接所述联轴器，且驱动所述联轴器旋转，从而带动整个装置进行旋转。

4.根据权利要求1所述的晶体生长用温度梯度调节装置，其特征在于，所述第一进气孔设置在所述钼管靠近所述第二法兰的一侧，所述第一出气孔设置在所述籽晶杆靠近所述第二法兰的一侧，所述第一进水孔设置在所述籽晶杆外壳靠近所述第二法兰的一侧，所述第一出水孔设置在所述隔水套靠近所述第二法兰的一侧。

5.根据权利要求1所述的晶体生长用温度梯度调节装置，其特征在于，装置连接管道处均采用焊接工艺密封连接。

6.根据权利要求1所述的晶体生长用温度梯度调节装置，其特征在于，所述第一气路管、第二气路管和第三气路管均为卡套软管，所述第一水路管、第二水路管、第三水路管和第四水路管均为橡胶软管。

7.根据权利要求1所述的晶体生长用温度梯度调节装置，其特征在于，所述装置还包括安装座，所述安装座套设在所述冷却盘管上，通过第一法兰与所述籽晶杆外壳连接。