[实用新型]一种快恢复二极管有效
| 申请号: | 201921825958.9 | 申请日: | 2019-10-28 |
| 公开(公告)号: | CN210467855U | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
| 发明(设计)人: | 王源政;金银萍;杭圣桥;郁怀东 | 申请(专利权)人: | 扬州国宇电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/868 | 分类号: | H01L29/868;H01L29/06 |
| 代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 黄启兵 |
| 地址: | 225000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 恢复 二极管 | ||
1.一种快恢复二极管,其特征在于:包括N+型硅单晶衬底、N-型外延层、P+型块和P-型主结,所述P+型块具有若干个,所述N-型外延层设置于所述N+型硅单晶衬底上方,所述P-型主结设置于所述N-型外延层内上方,所述P+型块设置于所述N+型硅单晶衬底和N-型外延层之间,所述P-型主结上方设置有正面金属层,所述N+型硅单晶衬底下方设置有背面金属层。
2.根据权利要求1所述的一种快恢复二极管,其特征在于:所述N-型外延层表面还设置有二氧化硅层,且所述二氧化硅层上开设有与所述P-型主结对应的通孔。
3.根据权利要求1所述的一种快恢复二极管,其特征在于:所述P+型块为圆柱型。
4.根据权利要求3所述的一种快恢复二极管,其特征在于:所述P+型圆柱直径大小为5~20um,间距为5~20um,厚度为0.5~2um,浓度为1×1016-1×1020cm-3。
5.根据权利要求1所述的一种快恢复二极管,其特征在于:所述N-型外延层浓度为1×1012-1×1014cm-3,厚度为30-120um。
6.根据权利要求1所述的一种快恢复二极管,其特征在于:所述P-型主结的浓度为1×1013-1×1015cm-3,结深为8-12um。
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